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公司基本資料信息
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截止發(fā)稿前，200mm硅光項(xiàng)目共進(jìn)行了11次招標(biāo)，且其中已有一次招標(biāo)項(xiàng)目近日完成2194.8 萬元的中標(biāo)。預(yù)計(jì)，還將會有一系列招標(biāo)發(fā)布。
以下為11個(gè)招標(biāo)項(xiàng)目信息整理列表：
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招標(biāo)項(xiàng)目 |
采購儀器/設(shè)備 |
數(shù)量 |
預(yù)算金額 |
開標(biāo)時(shí)間 |
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200mm硅光項(xiàng)目和成套工藝開發(fā)爐管等設(shè)備采購項(xiàng)目國際競爭性招標(biāo) |
氮化硅和氧化硅刻蝕設(shè)備、高溫氮化硅介質(zhì)膜熱生長設(shè)備等 |
各1套 |
2216萬元 |
06月01日 |
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200mm硅光項(xiàng)目和成套工藝開發(fā)深紫外曝光設(shè)備等設(shè)備采購項(xiàng)目國際競爭性招標(biāo) |
晶圓涂膠和顯影設(shè)備、深紫外線曝光設(shè)備 |
各1套 |
2640萬元 |
06月01日 |
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200mm硅光項(xiàng)目和成套工藝開發(fā)濕法刻蝕設(shè)備采購項(xiàng)目 |
晶圓片噴霧清洗設(shè)備、晶圓手動清洗設(shè)備、化學(xué)液供給設(shè)備 |
各1套 |
970萬元 |
06月04日 |
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200mm硅光項(xiàng)目和成套工藝開發(fā)硅刻蝕等設(shè)備采購項(xiàng)目國際競爭性招標(biāo)重新招標(biāo) |
硅材料刻蝕設(shè)備、晶圓背面清洗設(shè)備 |
各1套 |
2710萬元 |
06月06日 |
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200mm硅光項(xiàng)目和成套工藝開發(fā)光學(xué)顯微鏡采購項(xiàng)目國際競爭性招標(biāo)重新招標(biāo) |
光學(xué)顯微鏡 |
1套 |
52萬元 |
06月08日 |
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200mm硅光項(xiàng)目和成套工藝開發(fā)機(jī)械真空泵采購項(xiàng)目國際競爭性招標(biāo)重新招標(biāo) |
機(jī)械真空泵 |
1套 |
260萬元 |
06月08日 |
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200mm硅光項(xiàng)目和成套工藝開發(fā)貼膜機(jī)采購項(xiàng)目國際競爭性招標(biāo)重新招標(biāo) |
貼膜機(jī) |
1套 |
300萬元 |
06月11日 |
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200mm硅光項(xiàng)目和成套工藝開發(fā)本地尾氣處理設(shè)備采購項(xiàng)目國際競爭性招標(biāo)重新招標(biāo) |
本地尾氣處理設(shè)備 |
1套 |
500萬元 |
06月12日 |
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200mm硅光項(xiàng)目和成套工藝開發(fā)濕法刻蝕設(shè)備采購項(xiàng)目重新招標(biāo) |
晶圓片噴霧清洗設(shè)備、晶圓手動清洗設(shè)備、化學(xué)液供給設(shè)備 |
各1套 |
970萬元 |
06月11日 |
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200mm硅光項(xiàng)目和成套工藝開發(fā)干法去膠設(shè)備采購項(xiàng)目國際競爭性招標(biāo)重新招標(biāo) |
干法去膠設(shè)備 |
1套 |
325萬元 |
06月14日 |
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200mm硅光項(xiàng)目和成套工藝開發(fā)光刻后測量設(shè)備采購項(xiàng)目國際競爭性招標(biāo)重新招標(biāo) |
光刻后層與層間對準(zhǔn)精度測量設(shè)備、圖形尺寸測量掃描電鏡 |
各1套 |
950萬元 |
06月21日 |
附：招標(biāo)相關(guān)信息
項(xiàng)目聯(lián)系方式：
項(xiàng)目聯(lián)系人：趙麗莉
項(xiàng)目聯(lián)系電話：86-21-62791919×135
采購單位聯(lián)系方式：
采購單位：中國科學(xué)院上海高等研究院
地址：上海市浦東新區(qū)海科路99號
聯(lián)系方式：黃雨辰、021-20325063
通過現(xiàn)代資訊認(rèn)證 
