掃描式電子顯微鏡室：掃描式電子顯微鏡（含EDS系統(tǒng)）、鍍碳(金)機(jī)、薄膜應(yīng)力量測(cè)儀。

    穿透式電子顯微鏡室：穿透式電子顯微鏡（含EDS系統(tǒng)與離子減薄機(jī)）,偏光顯微鏡。

    精密儀器室：

    主要設(shè)備包括刮痕式鍍膜附著性試驗(yàn)機(jī)、應(yīng)力應(yīng)變?cè)囼?yàn)主機(jī)、2D/3D表面粗度輪廓儀、金相顯微鏡、微放電加工設(shè)備、迴轉(zhuǎn)式多功能磨耗試驗(yàn)機(jī)、多功能滑動(dòng)磨耗試驗(yàn)機(jī)。

    材料檢測(cè)室：主要設(shè)備包括非接觸溫度計(jì)量測(cè)系統(tǒng)、真空烘箱、動(dòng)態(tài)疲勞實(shí)驗(yàn)機(jī)、100噸靜態(tài)拉伸實(shí)驗(yàn)機(jī)等。

    以上設(shè)備為研究用等級(jí)，提供良好的研究支援能量。