開始操作儀器便可以對(duì)形貌進(jìn)行測(cè)量監(jiān)察
盡早識(shí)別誤差,節(jié)省糾正時(shí)間
儀器可輸出不同的輪廓數(shù)據(jù)格式,并對(duì)機(jī)械加工進(jìn)行控制(死循環(huán))
增加靈活性和實(shí)用性
不同類型的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱非球面址可用一套設(shè)備進(jìn)行測(cè)量,不需額外增加設(shè)備
保證測(cè)量結(jié)果正確無誤
高精確度的Marsurf LD 120是精確測(cè)量工件的基礎(chǔ),垂直方向分辨率2nm,形狀誤差小于100nm,保證了非球面產(chǎn)品的再現(xiàn)性
整座測(cè)量系統(tǒng)固定在控制柜中,附加的減震裝置大大降低了周圍環(huán)境對(duì)設(shè)備精度的影響
表面測(cè)量?jī)x器與系統(tǒng)