Wyko NT 9100光學(xué)輪廓儀是一款便捷的、精確的、實(shí)用的非接觸三維形貌測(cè)量系統(tǒng)。作為第九代系統(tǒng),它采用已申請(qǐng)專利的雙光源照明技術(shù),同時(shí)實(shí)現(xiàn)了對(duì)超光滑表面和粗糙表面進(jìn)行非接觸表征,應(yīng)用范圍涵蓋了亞納米量級(jí)粗糙度測(cè)量到毫米尺度臺(tái)階高度測(cè)量。作為行業(yè)內(nèi)最值得信賴的及重現(xiàn)性最好的桌面式機(jī)臺(tái),NT9100可滿足研發(fā)、磨損分析、失效分析及工藝控制等領(lǐng)域的需求。
作為NT 9000光學(xué)輪廓儀系列的臺(tái)式型號(hào),NT9100具有許多和大型機(jī)臺(tái)一樣的優(yōu)點(diǎn),包括:測(cè)量設(shè)置簡(jiǎn)單易學(xué),高速數(shù)據(jù)采集能力,強(qiáng)大的數(shù)據(jù)分析能力以及0.1納米量級(jí)的測(cè)試重復(fù)精度。可選配的X-Y自動(dòng)樣品臺(tái)使NT9100實(shí)現(xiàn)程序化,這是在Wyko桌面式輪廓儀系列的首次應(yīng)用。
NT9100的量測(cè)性能與其他NT9000系列產(chǎn)品相當(dāng),但其較小的尺寸及靈活的配置為用戶將來的發(fā)展提供了基礎(chǔ)。系統(tǒng)包含了完整版的Vision分析軟件,該軟件是行業(yè)內(nèi)功能最全的分析軟件,可實(shí)現(xiàn)二維和三維的數(shù)據(jù)分析及可視化功能。Vision軟件為用戶提供了200余種分析工具,包括自動(dòng)測(cè)序功能、數(shù)據(jù)記錄和實(shí)時(shí)反饋及統(tǒng)計(jì)控制過程的合格/不合格標(biāo)準(zhǔn)。用戶采用可選的MATLAB® 軟件包還可以定制專門的數(shù)據(jù)分析用戶界面。
光學(xué)輪廓儀 NT9100