探針,AFM探針,原子力顯微鏡探針,veeco探針,Bruker探針探針的工作模式:主要分為 掃描(接觸)模式和輕敲模式
探針的結(jié)構(gòu):懸臂梁+針尖
探針針尖曲率半徑Tip Radius:一般為10nm到幾十nm。
制作工藝:半導(dǎo)體工藝制作常見的探針類型:
1. 導(dǎo)電探針(電學(xué)):金剛石鍍層針尖,性能比較穩(wěn)定
2 .壓痕探針:金剛石探針針尖(分為套裝和非套裝的)
3. 氮化硅探針:接觸式(分為普通的和銳化的)
4. 磁性探針:應(yīng)用于MFM,通過在普通tapping和contact模式的探針上鍍Co、Fe等鐵磁性層制備
5. 電化學(xué)探針(STM): 電學(xué)接觸式和電學(xué)輕敲式
6. FIB大長徑比探針:測半導(dǎo)體結(jié)構(gòu),專為測量深的溝槽(深孔)以及近似鉛垂的側(cè)面而設(shè)計生產(chǎn)的。Popular Probes & Applications
Application: High resolution topographical imaging of a wide variety of samples.
Probe Model: TESP, RTESP, OTESPA , NCHV, VL300
Specifications: 40 N/m, 300 kHz
AFM Mode: TappingApplication: High resolution imaging for softer samples (Polymers, biological, and thin films)
Probe Model: FESP, RFESP, OLTESPA, FMV, VLFM
Specifications: 2.8 N/m, 75 kHz
AFM Mode: Tapping or Force ModulationApplication: Magnetic and electrical measurements.
Probe Model: MESP, SCM-PIT, OSCM-PT, SCM-PIC
Specifications: 2.8 N/m, 75 kHz
AFM Mode: MFM, EFM, SCM, Conductive AFM / TUNAApplication: Liquid Imaging, Force Measurement and pulling, Contact mode imaging in air
Probe Model: MSCT, NP-S, OTR4, OBL
Specifications: .006-.58 N/m
AFM Mode: Contact or Tapping
模式 常用探針型號
接觸模式
– ESP
– MPP-31100-10
– SNL-10
– DNP-10
– MLCT
– MSNL-10輕敲模式
空氣 液體
– MPP-11100-10 (RTESP)
– TESP
– OTESPA
– FESP – SNL-10
– DNP-10
– MLCT
– MSNL-10峰值力輕敲模式
– ScanAsyst-Air
– ScanAsyst-Fluid
– ScanAsyst-Fluid+智能成像模式
– ScanAsyst-Air
– ScanAsyst-Fluid
– ScanAsyst-Fluid+
– ScanAsyst-Air-HR輕敲模式& 相位成像模式
– MPP-11100-10 (RTESP)
– TESP
– OTESPA
– FESP定量納米力學(xué)性能測試模式
– MPP-11120-10 (RTESPA)
– MPP-12120-10
– MPP-13120-10
– PDNISP-HS
– ScanAsyst-Air磁力顯微鏡模式
– MESP
– MESP-HM
– MESP-LM
– MESP-RC靜電力顯微鏡模式
– SCM-PIT
– MESP
– MESP-RC
– OSCM-PT峰值力隧道電流顯微鏡&導(dǎo)電原子力顯微鏡模式
– SCM-PIC
– SCM-PIT
– DDESP-FM
– PFTUNA更多探針信息,請咨詢鉑悅儀器,謝謝!
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