4.2 上料工位
4.3 超純水淋洗槽
4.4 酸腐蝕槽
4.5 超純水清洗槽
4.6 酸腐蝕槽
4.7 超純水快排清洗槽
4.8 超聲清洗槽
4.9 純水煮沸槽
4.10 氮氣切水槽
4.11 下料工位
4.12 傳送機械臂
4.13 清洗籃
4.14 電氣控制部分
硅芯清洗機
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