清洗對(duì)象是2～8英寸的硅研磨片。設(shè)備整體采用進(jìn)口PLC控制，通過設(shè)定工作節(jié)拍傳送籃具依次經(jīng)過各個(gè)工序，由上料開始到下料均自動(dòng)完成。設(shè)備工作節(jié)拍，各項(xiàng)參數(shù)設(shè)定采用觸摸屏完成。設(shè)備整體為密閉結(jié)構(gòu)，具有排風(fēng)裝置。獨(dú)有的機(jī)械手設(shè)計(jì)使抓取定位更準(zhǔn)確。注重人性化設(shè)計(jì)，可根據(jù)用戶要求定制。

半導(dǎo)體/ LED/ LD硅片清洗加工設(shè)備，可廣泛用于IC生產(chǎn)及半導(dǎo)體元器件生產(chǎn)中晶片的濕法化學(xué)工藝。該設(shè)備可有效去除晶片表面的有機(jī)物、顆粒、金屬雜質(zhì)、自然氧化層及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不破壞晶片表面特性。 用途 爐前（RCA）清洗：擴(kuò)散前清洗。 光刻后清洗：除去光刻膠。 氧化前自動(dòng)清洗：氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。 拋光后自動(dòng)清洗：除去切、磨、拋的沾污。 外延前清洗：除去埋層擴(kuò)散后的SiO2及表面污物。 合金前、表面鈍化前清洗：除去鋁布線后，表面雜質(zhì)及光膠殘?jiān)?nbsp;離子注入后的清洗：除去光刻膠，SiO2層。 擴(kuò)散預(yù)淀積后清洗：除去預(yù)淀積時(shí)的BSG和PSG。 CVD后清洗：除去CVD過程中的顆粒。 附件及工具的清洗：除去表面所有的沾污物。 硅片清洗設(shè)備 可用于完成擴(kuò)散前、光刻后、CMP后及氧化前等工藝的清洗工作。例如：RCA清洗、SPM清洗、SC清洗、金屬離子及雜物去除清洗等。 全自動(dòng)硅片清洗機(jī) 手動(dòng)硅片清洗機(jī) 附件及工具清洗設(shè)備 石英管清洗機(jī) 酸堿清洗臺(tái) 有機(jī)化學(xué)超凈工作臺(tái) 部件清洗臺(tái) 氮?dú)鈨?chǔ)存柜 硅片清洗設(shè)備特點(diǎn) 手動(dòng)硅片清洗設(shè)備特點(diǎn)： 可根據(jù)不同的清洗工藝配置各種相應(yīng)的清洗功能槽。 功能槽包括：加熱酸缸、HF腐蝕、BHF（HF恒溫緩沖腐蝕）、超聲清洗槽、恒溫水浴、QDR（快排沖水）、電爐等。 清洗功能槽模塊化，各部分有獨(dú)立的控制單元，可隨意組合。 關(guān)鍵件采用進(jìn)口部件，提高設(shè)備的可靠性及使用壽命。 采用進(jìn)口耐腐蝕PP板材，防酸、防腐，有效避免酸液的侵蝕。 控制系統(tǒng)的元器件具備防腐、防潮功能，確保安全的工作環(huán)境。 結(jié)構(gòu)緊湊，凈化占地面積小，造型美觀、實(shí)用。 操作符合人機(jī)工程原理，具有良好的操作界面，使用方便、靈活。 閉式清洗，有效改善工作環(huán)境，保障操作人員安全。 全自動(dòng)硅片清洗設(shè)備特點(diǎn)： 進(jìn)口伺服驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)及機(jī)械手臂，清洗過程中無需人工操作。 通過PLC實(shí)現(xiàn)控制，全部操作通過觸摸屏界面一次完成。 可預(yù)先設(shè)制多條清洗工藝，可同時(shí)運(yùn)行多條工藝。 自動(dòng)化程度高，適用于批量生產(chǎn)，確保清洗質(zhì)量的一致性。 自動(dòng)氮?dú)夤呐菅b置可有效提高產(chǎn)品質(zhì)量，縮短清洗時(shí)間。 可選裝層流凈化系統(tǒng)及自動(dòng)配酸裝置。 石英管清洗機(jī)適用工藝 由于化學(xué)和物理作用，對(duì)石英管吸收層進(jìn)行腐蝕清洗，并且通過石英管的旋轉(zhuǎn)作用，使石英管腐蝕層均勻，通過在水槽中的清洗，使石英管表層污物清洗干凈。 酸洗 → 排液 → 注純水 → 溢流 → 注水 →水洗 → 排液 石英管清洗機(jī)特點(diǎn) 采用浸泡、旋轉(zhuǎn)式清洗；酸清洗為滾動(dòng)浸泡式；水清洗為溢流式。 采用多點(diǎn)支撐式工件旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，穩(wěn)定、可靠。 操作符合人機(jī)工程原理，具有良好的操作界面，使用方便、靈活。 可配置自動(dòng)氮?dú)夤呐菹到y(tǒng)，有效提高產(chǎn)品質(zhì)量，縮短清洗時(shí)間。 結(jié)構(gòu)緊湊，凈化占地面積小，造型美觀、實(shí)用。 關(guān)鍵件采用進(jìn)口件，提高了設(shè)備的可靠性。 采用進(jìn)口耐腐蝕PP板材，防酸、防腐，有效避免酸霧的侵蝕。 封閉式清洗，有效改善工作環(huán)境，保障操作人員安全。 控制系統(tǒng)同時(shí)具備完善防腐、防潮功能，確保安全的工作環(huán)境