設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)
槽數(shù)：2個(gè)PVDF HF腐蝕槽，2個(gè)PP噴淋槽，1個(gè)PP洗手槽
氮?dú)鈽?、水槍?套；
清洗硅片尺寸：Φ6英寸；
包板材料：德國(guó)進(jìn)口鹽白PP板材；
電氣功率：?jiǎn)蜗?20V AC，10KW；
純水進(jìn)水接口口徑：2-25A（CPVC材質(zhì)），80L/min以上；
氮?dú)夤┙o：接口口徑2-Φ6，100L/min以上；
壓縮空氣供給：接口口徑2-Φ10mm ，1000L/min以上；
層流罩規(guī)格：百級(jí)，3.9x0.45m²,風(fēng)速0.2~0.3 m/s；
PLC控制，觸摸屏操作，聲光提示，錯(cuò)誤報(bào)警。