HNO3+H3PO4+CH3COOH
槽體材質(zhì): PP,循環(huán)槽結(jié)構(gòu), 防漏槽材質(zhì):PP;
清洗批量:2提籃/批次;
清洗藥液:HNO3+H3PO4+CH3COOH;
清洗時(shí)間設(shè)定:0~9999sec;
溫度:50℃,溫度控制精度±1℃;
加熱器:PFA在線加熱器,3KW;
溫度控制方式:歐姆龍溫度控制器+電力調(diào)整器;
循環(huán)系統(tǒng):PP磁力泵,15L/min,藥液接觸部分為PP材料;
藥液供給:手動(dòng)桶裝供給,直接供給到處理槽;
藥液更換模式:可設(shè)定為清洗時(shí)間模式、清洗片盒計(jì)數(shù)模式,到期設(shè)備自動(dòng)提醒;
處理槽液面控制:使用N2液位,具有報(bào)警功能,內(nèi)槽檢測(cè)下限及定量,外槽檢測(cè)上限和下限。
管路閥門:使用氣動(dòng)閥門;
槽體蓋子:自動(dòng),PTFE材質(zhì),采用氣缸控制蓋子翻轉(zhuǎn);
排氣:共用排氣管路,材料為PP,配置連接法蘭、風(fēng)壓檢測(cè)及調(diào)節(jié)閥門,尺寸為200A,接口在設(shè)備的上部
硅片化學(xué)清洗腐蝕