清洗晶片尺寸：Φ2"、Φ3"、Φ4"、Φ6"；
每槽花籃數(shù)：Φ2"、Φ3"處理量100片/批，Φ4" 處理量50片/批，Φ6"處理量25片/批。包板材料：德國進(jìn)口鹽白PP板材；
腐蝕及清洗槽數(shù)：PVDF浸泡槽， QDR槽
水槍、氣槍各1把；
電氣功率：三相380V，小于8KW；
前面板為透明左右推拉門結(jié)構(gòu)；
1#槽到2#槽之間圓弧拋動傳送花籃，轉(zhuǎn)移時間3秒；
純水進(jìn)水接口口徑：32A，3Kgf，50L/min以上；
壓縮空氣供給：500NL/min以上,接口口徑Φ10mm(PE材質(zhì)), 6~8Kg；
氮氣供給：100NL/min，接口口徑Φ6mm(PFA材質(zhì)), 6~8Kg；