整機(jī)結(jié)構(gòu)組成 :機(jī)臺(tái)、操作臺(tái)面、槽體、機(jī)械臂、藥液溫度控制系統(tǒng)、CDS自動(dòng)配酸系統(tǒng)、沉淀儲(chǔ)酸系統(tǒng)、過濾系統(tǒng)、排風(fēng)、電氣控制系統(tǒng)等組成。
2）槽體包括：蝕刻槽，QDR槽，烘干槽，儲(chǔ)酸槽，混酸槽。
3）可清洗的工件尺寸：≤1900*2200mm
4）可清洗的工件批量：20片/每批
5）設(shè)備配置PFA材料的水氣槍各兩把。