COXEM.Beijing Office是韓國(guó)COXEM公司在中國(guó)大陸唯一分支機(jī)構(gòu),作為COXEM中國(guó)大陸市場(chǎng)直銷(xiāo)平臺(tái)及相應(yīng)全面技術(shù)支撐平臺(tái),主要經(jīng)營(yíng)酷塞目系列掃描電鏡及相關(guān)附件耗材等業(yè)務(wù)。詳情請(qǐng)登錄我們的網(wǎng)站:http://coxem2010.blog.163.com/
技術(shù)參數(shù)
分辨率:3.5nm (30kV, SE image)
4.0nm (30kV, BSE image) 可選
放大倍數(shù):30x~300,000x(WD=5mm)
加速電壓 0.5kV~30kV
電子槍?zhuān)喝?jí)自給偏壓,預(yù)對(duì)中發(fā)叉式鎢絲陰極,自動(dòng)/手動(dòng)電磁對(duì)中
透鏡系統(tǒng):三級(jí)電磁透鏡
物鏡光闌:4 孔可變光闌,搖擺對(duì)中合軸
圖像電位移和電旋轉(zhuǎn):±20 ? (WD: 5 ㎜); 0-360°無(wú)限
樣品室:內(nèi)徑φ210mm ,可擴(kuò)展接配EDS,BSE 等探測(cè)器
樣品臺(tái)及行程: 標(biāo)配五軸手動(dòng)機(jī)械對(duì)中樣品臺(tái)
X: 60 ㎜, Y: 40 ㎜, Z: 5~50 ㎜, T: -20°~+90°, R: 360°
可選X、Y 2 軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
最大樣品尺寸:直徑φ160mm ,最大樣品高度50mm
操作系統(tǒng):PCI、USB 接口的PC 機(jī)控制, 奔騰4 兼容機(jī),Windows XP, 19 英寸彩色顯示器,圖形用戶(hù)界面(GUI),鼠標(biāo)鍵盤(pán)操作
自動(dòng)功能:自動(dòng)電磁對(duì)中,自動(dòng)聚焦,自動(dòng)亮度對(duì)比度,自動(dòng)消象散
掃描模式:屏幕選區(qū)模式: 320 x 240 像素
全屏慢掃描模式: 640 x 480 像素 (3 檔速度)
全屏照相獲取模式 1: 1280 x 960 像素
全屏照相獲取模式 2: 2560 x 1920 像素
示波器觀(guān)察模式,圖像凍結(jié)
圖像格式:JPG, TIFF, BMP
語(yǔ)言:英語(yǔ)
真空系統(tǒng):全自動(dòng)渦輪分子泵真空系統(tǒng),樣品室處真空度優(yōu)于1x10-5 Torr ,渦輪分子泵210L/sec + 旋片式機(jī)械泵100L/min
外形尺寸和重量:主機(jī): 77(W)x88(D)x150(H)㎝, 310 ㎏
操作臺(tái): 85(W)x80(D)x70(H)㎝, 10 ㎏
安裝要求: 電源 AC 220V, 60Hz, 2kVA
地線(xiàn) 獨(dú)立地線(xiàn)1 條,小于等于100Ω
溫度 15℃~30℃
濕度 小于等于70 %
交流磁場(chǎng) 小于等于0.3 uT
地面振動(dòng) 5 um/sec Max.
門(mén)寬 900mm 或更寬
COXEM酷塞目CX-100S掃描電子顯微鏡