COXEM.Beijing Office是韓國COXEM公司在中國大陸唯一分支機(jī)構(gòu),作為COXEM中國大陸市場直銷平臺(tái)及相應(yīng)全面技術(shù)支撐平臺(tái),主要經(jīng)營酷塞目系列掃描電鏡及相關(guān)附件耗材等業(yè)務(wù)。
官方博客:http://coxem2010.blog.163.com/性能指標(biāo):
分辨率: 3.0nm (30kV, SE image) 10nm(3KV,SE image)
4.0nm (30kV, BSE image) 可選
放大倍數(shù):10x~300,000x(WD=5mm)
加速電壓 0.5kV~30kV
電子槍:三級自給偏壓,偏壓電阻可自動(dòng)/手動(dòng)調(diào)節(jié),預(yù)對中發(fā)叉式鎢絲陰極
透鏡系統(tǒng): 三級電磁透鏡 2 個(gè)聚光鏡,一個(gè)園錐形物鏡
物鏡光闌: 4 孔可變光闌,搖擺對中合軸
圖像電位移和電旋轉(zhuǎn): ±50 ? (WD: 10 ㎜); 0-360°無限
樣品室: 內(nèi)徑φ210mm ,可擴(kuò)展接配EDS,BSE,WDS 等探測器
樣品臺(tái)及行程: 計(jì)算機(jī)導(dǎo)航五軸自動(dòng)機(jī)械對中樣品臺(tái)
X: 65 ㎜, Y: 40 ㎜, Z: 5~65 ㎜, T: -20°~+90°, R: 360°
最大樣品尺寸:130mm(直徑) X 71mm (高度)
樣品臺(tái)控制方式: 自動(dòng)/手動(dòng)
操作系統(tǒng): PCI、USB 接口的PC 機(jī)控制, 奔騰4 兼容機(jī),Windows XP, 19 英寸彩色顯示器,圖形用戶界面(GUI)嵌入多種圖像實(shí)時(shí)分析測量工具,鼠標(biāo)鍵盤操作
自動(dòng)功能: 自動(dòng)聚焦,自動(dòng)亮度對比度,自動(dòng)消象散,自動(dòng)電子束對中,自動(dòng)物鏡光闌合軸,自動(dòng)電子槍加飽和,自動(dòng)電子槍偏壓,動(dòng)態(tài)聚焦,傾斜補(bǔ)償。
掃描模式:屏幕選區(qū)模式: 320 x 240 像素
TV 屏幕掃描模式:640 x 480 像素
全屏慢掃描模式: 800 x 600 像素 (3 檔速度)
分屏掃描模式:1200 x 600 像素 (SE BSE 雙信號)
全屏照相獲取模式 1: 1280 x 960,2560 x 1920,5120 x 3840 像素
波形觀察模式
圖像格式 JPG, TIFF, BMP
語言 英語
真空系統(tǒng):全自動(dòng)高真空系統(tǒng),樣品室處真空度優(yōu)于1x10-5 Torr,真空度實(shí)時(shí)顯示. 高效油擴(kuò)散泵310 升/秒 +機(jī)械泵 100L/min)
外形尺寸和重量:主機(jī): 77(W)x88(D)x150(H)㎝, 350 ㎏
電腦桌: 85(W)x80(D)x70(H)㎝, 10 ㎏
安裝要求:電源 AC 220V, 60Hz, 2kVA
地線:獨(dú)立地線1 條,小于等于100Ω
溫度:15℃~30℃
濕度:小于等于70 %
交流磁場:小于等于0.3 uT
地面振動(dòng):5 um/sec Max.
門寬 900mm 或更寬
COXEM酷塞目CX-200DA掃描電子顯微鏡