制造廠商介紹：
         北京意力博通技術(shù)發(fā)展有限公司, 是韓國(guó)COXEM公司在國(guó)內(nèi)的合作伙伴，COXEM為國(guó)內(nèi)電鏡客戶配套其物美價(jià)廉的小型濺射儀和蒸碳儀。意力博通是由中國(guó)科學(xué)院北京科學(xué)儀器廠的幾位高級(jí)工程師創(chuàng)辦，他們個(gè)人在掃描電鏡、X射線能譜儀軟件硬件方面的技術(shù)水平，在國(guó)內(nèi)是頂級(jí)水平。最初意力博通主要業(yè)務(wù)是維修掃描電鏡或者數(shù)字化升級(jí)改造國(guó)內(nèi)外模擬型掃描電鏡，能譜儀，包括幫助推廣中科院上海硅酸鹽所的專利技術(shù)掃描電聲顯微鏡，以及代理德國(guó)布魯克能譜儀，但國(guó)內(nèi)市場(chǎng)情況不好，或者說可能這幾位高級(jí)工程師并不擅長(zhǎng)商業(yè)貿(mào)易。因此他們逐漸把精力放在有更大市場(chǎng)的小型離子濺射鍍膜和蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的研發(fā)上，現(xiàn)在他們已經(jīng)向國(guó)內(nèi)客戶提供了幾百上千套各種功能的小型鍍膜機(jī)，包括按照客戶意愿定制的產(chǎn)品，最近兩年，出口到發(fā)達(dá)國(guó)家也有幾十臺(tái)。意力博通的工程師，不斷改進(jìn)工藝提高產(chǎn)品可靠性，并按照客戶需要，開發(fā)各種功能，并適時(shí)推出標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品。目前可以提供的標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品包括：

ETD-2000Ⅲ/3000Ⅲ 離子濺射儀：依據(jù)二極(DC)直流濺射原理設(shè)計(jì)而成的，最簡(jiǎn)單、可靠、經(jīng)濟(jì)的鍍膜設(shè)備。他相對(duì)于ETD-2000/3000的特別之處是在一個(gè)真空室內(nèi)設(shè)計(jì)安裝了三個(gè)靶。旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，可以依次在同一樣品上涂覆三種材料。適用于實(shí)驗(yàn)室的各種復(fù)合膜樣品制備，及非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極制作。

配置參數(shù)如下：

 靶（上部電極）：直徑：45mm，厚度：0.12mm
真空樣品室： 直徑：160mm，高：120mm
樣品臺(tái)高度調(diào)節(jié)：手動(dòng)調(diào)節(jié)
濺射面積： Ф45mm，三區(qū)域
 真空指示表： 最高真空度：≤ 4X10-2 mbar
 離子電流表： 最大電流：50mA(100mA)
定時(shí)器： 最長(zhǎng)時(shí)間：900S
微型真空氣閥： 可連接φ3mm軟管
可通入氣體： 多種
 最高電壓： -1600（-3000）DCV
機(jī)械泵： 2L/S
樣品表面離子清潔（選配）
意力博通還提供以下服務(wù)：
維修或改造所有類型任何品牌的掃描電子顯微鏡(SEM)、數(shù)字圖像和Si(Li)探測(cè)器。提供國(guó)產(chǎn)化能譜儀及改造X射線能譜儀等。