GC5890H高純氣體分析專用氣相色譜儀
發(fā)明專利號(hào)：ZL2006 2 0074774.X
氣體工業(yè)是國(guó)民經(jīng)濟(jì)的基礎(chǔ)行業(yè)，隨著國(guó)民經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展，氣體工業(yè)特別是高純氣體和電子用氣體行業(yè)也蓬勃發(fā)展。氣體中微量雜質(zhì)的分析是生產(chǎn)高純氣體和電子工業(yè)用氣的必要環(huán)節(jié)，而這些氣體中微量雜質(zhì)的分析一直是色譜分析的難點(diǎn)之一。
   目前國(guó)內(nèi)在高純氣體分析領(lǐng)域多數(shù)采用的熱導(dǎo)（TCD）檢測(cè)器由于靈敏度有限，很難測(cè)定5ppm以下的雜質(zhì)；氧化鋯檢測(cè)器由于是一種選擇性的檢測(cè)器，只能分析少數(shù)幾種氣體雜質(zhì)；而氬離子檢測(cè)器又往往帶有放射源。均不能很好的滿足高純氣體分析的基本要求。隨著國(guó)內(nèi)高純氣體行業(yè)的發(fā)展和氣體用戶對(duì)氣體純度的要求越來(lái)越高，以上幾種檢測(cè)器已經(jīng)不能滿足對(duì)高純氣體中微量雜質(zhì)檢測(cè)的要求。GC5890H高純氣體分析專用氣相色譜儀
我所研究生產(chǎn)的GC5890H高純氣體分析色譜儀，配備VALCO公司生產(chǎn)的PDHID檢測(cè)器，采用一流的中心閥切割技術(shù)，是一套靈敏度最高，分離效果最好的高純氣體分析系統(tǒng), 特別適合永久氣體的分析，是唯一能夠檢測(cè)至ng/g（ppb）級(jí)的色譜儀。GC5890H高純氣體分析專用氣相色譜儀
      
適用標(biāo)準(zhǔn):
GB/T 8980-1996《高純氮》
GB/T 14599-93 《高純氧》
GB/T 4844.3-1995 《高純氦》
GB/T 4842-2006《高純氬》
GB/T 7445-1995 《純氫、高純氫、超純氫》
GB/T 17873-1999《純氖》
GB/T 5829-1995《氪氣》
GB/T 5828-1995《氙氣》
HG/T 3633-1999《純甲烷》
GB/T 10621-2006《食品添加劑液體二氧化碳》
GB/T 16942-1997《電子工業(yè)用氣體 氫》
GB/T 16943-1997《電子工業(yè)用氣體 氦》
GB/T 16944-1997《電子工業(yè)用氣體 氮》
GB/T 16945-1997《電子工業(yè)用氣體 氬》
GB/T 14604-93《電子工業(yè)用氣體 氧》
GB/T 14600-93《電子工業(yè)用氣體 氧化氬氮》
GB/T 14601-93《電子工業(yè)用氣體 高純氨》
GB/T 14602-93《電子工業(yè)用氣體 氯化氫》
GB/T 14603-93《電子工業(yè)用氣體 三氟化硼》
GB/T 18994-2003《電子工業(yè)用氣體 高純氯》
GB/T 14851-93《電子工業(yè)用氣體 磷化氫》
GB/T 17874-1999《電子工業(yè)用氣體 三氯化硼》
GB/T 15909-1995《電子工業(yè)用氣體 硅烷》
GC5890H高純氣體分析專用氣相色譜儀
系統(tǒng)配置:
（1）GC-5890H氣相色譜儀
（2）PDHID檢測(cè)器
（3）HP-2氦氣純化器
（4）標(biāo)準(zhǔn)氣體
（5）高純氦（純度>99.999％）
（6）載氣專用減壓閥
（7）無(wú)死體積專用取樣閥
（8）GC-5890色譜工作站

應(yīng)用要點(diǎn)：
      高純氣體的分析是一個(gè)復(fù)雜的過(guò)程，僅有高靈敏的檢測(cè)器是遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠的，還要考慮樣品本身的特性及其背景，如吸附，取樣及分析過(guò)程中是否有空氣混入，系統(tǒng)的密閉性等等環(huán)節(jié)，南京科捷分析儀器應(yīng)用研究所總結(jié)了以下幾個(gè)高純氣體分析過(guò)程中的技術(shù)要點(diǎn)，并一一給予了解決，使GC5890H氦離子化氣相色譜儀很好的完成了氣體中微量雜質(zhì)，特別是ppb級(jí)的雜質(zhì)的分析。GC5890H高純氣體分析專用氣相色譜儀
技術(shù)要點(diǎn) GC5890H的解決方案
1）檢測(cè)器的靈敏度、線性重復(fù)性等 GC5890H配備PDHID檢測(cè)器，其檢測(cè)限可達(dá)ng/g（ppb）級(jí)，是目前靈敏度最高的通用型檢測(cè)器，對(duì)幾乎所有的無(wú)機(jī)氣體和有機(jī)物均有很高的相應(yīng)，特別適合永久氣體的分析
2）分析流程的適用范圍和功能
  GC5890H采用了可以滿足包括高純氣和電子氣的全分析，具有切割及反吹功能，吸附氧、吸附二氧化碳及其他氣體的全分析流程（詳見流程圖）
3）進(jìn)樣閥及切換閥切換時(shí)空氣的滲漏問(wèn)題 GC5890H配備了吹掃型十通閥，閥平面始終處于載氣的氛圍中，切換時(shí)無(wú)空氣滲漏而混入樣品之中
4）載氣的純度須至少高于樣品氣體一個(gè)數(shù)量級(jí) GC5890H配備了氦氣純化器，可以將載氣中除惰性雜質(zhì)成份純化到10ppb以下
5）樣品的取樣方式對(duì)分析的影響 GC5890H配備了無(wú)死體積的專用取樣閥，將取樣過(guò)程對(duì)分析的影響降至最低的水平，取樣時(shí)采用帶吹掃保護(hù)的進(jìn)樣方式，有效的避免了空氣混入的問(wèn)題
6）色譜柱擔(dān)體對(duì)分析的影響 GC5890H所配備的擔(dān)體均做了特殊處理，避免了氧吸附等問(wèn)題的產(chǎn)生
7）氣路管道及色譜柱內(nèi)壁材質(zhì)對(duì)分析的影響 GC5890H所采用的氣路管線及色譜柱管材內(nèi)壁均做了鈍化處理，防止吸附問(wèn)題的產(chǎn)生
8）樣品進(jìn)樣對(duì)分析的影響 GC5890H的樣品進(jìn)樣采用特殊背壓閥控制的方式，防止空氣反滲
9）工作站數(shù)據(jù)采集卡噪聲的影響 GC5890H配備的色譜工作站均經(jīng)過(guò)超低噪聲的檢測(cè)，噪聲均小于2uv
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