矽晶片清洗腐蝕機(jī)
型號(hào):CGB-XXXX—XX系列,品牌:華林嘉業(yè)—CGB產(chǎn)品可去除工件表面的油污及其他有機(jī)物、除膠、去金屬離子等。 1.設(shè)備由五大部分組成:清洗槽部分、伺服系統(tǒng)及機(jī)械臂部分、層流凈化系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、機(jī)架及整機(jī)。 2.清洗槽部分由有機(jī)溶劑槽、去離子水槽、酸槽或堿槽等組成。 3.關(guān)鍵件采用進(jìn)口件,包括氣動(dòng)閥,PFA管道,全氟循環(huán)系統(tǒng),保證工作介質(zhì)(酸、堿)的潔凈度,避免雜質(zhì)析出。 4.工藝過程全自動(dòng),機(jī)械手在槽間的轉(zhuǎn)換由兩套伺服系統(tǒng)控制,可存儲(chǔ)多條工藝時(shí)序,方便使用。 5.人機(jī)界面為觸摸屏,方便直觀。 6.除裝片和取片需人工外,其余工藝動(dòng)作均可自動(dòng)完。有需求此方面設(shè)備的朋友,歡迎來(lái)電咨詢:010-83270202/ /13910297918/耿彪。本公司律師顧問團(tuán)鄭重聲明:依據(jù)國(guó)家有關(guān)法律,在中華人民共和國(guó)范圍內(nèi),北京華林嘉業(yè)科技有限公司是唯一擁有對(duì)有關(guān)“華林嘉業(yè)”字樣名稱及商標(biāo)等專用權(quán)的合法性公司,任何個(gè)人機(jī)構(gòu)不得擅自使用。
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