圓晶硅片清洗機
硅片切片后清洗設(shè)備: 型號:CGB-XXXX—XX系列,品牌:華林嘉業(yè)—CGB設(shè)備用于3”4“5”6“8”硅片的規(guī)模生產(chǎn),產(chǎn)品一致性好,技術(shù)先進。 ⑴整機采用德國進口磁白色PP板焊接而成,本機每槽可同時清洗2個花籃。本設(shè)備外型美觀,耐酸性能好,操作方便,運行可靠,是半導(dǎo)體生產(chǎn)線理想的硅片清洗設(shè)備。 ⑵本設(shè)備由機架部分、整機部分、槽體部分、伺服系統(tǒng)、及機械傳動部分、電氣控制系統(tǒng)構(gòu)成。 ⑶工藝過程全自動,機械手在槽間轉(zhuǎn)換靠PLC來控制,美國進口導(dǎo)軌和機械手來滿足工藝時序。 ⑷除裝片和取片需人工外,其余工藝動作均由機械手來實現(xiàn),適用于連續(xù)批量生產(chǎn)。 ⑸機臺內(nèi)設(shè)高效過濾器,滿足凈化工作區(qū)工作(1000級~100級,10級為特級)。⑹人機界面為觸摸屏,有安全保護故障代碼,故障報警,工藝時序號,方便操作、易于維護。有需求此方面設(shè)備的朋友,歡迎來電咨詢:010-83270202 / //13910297918/耿彪。本公司律師顧問團鄭重聲明:依據(jù)國家有關(guān)法律,在中華人民共和國范圍內(nèi),北京華林嘉業(yè)科技有限公司是唯一擁有對有關(guān)“華林嘉業(yè)”字樣名稱及商標(biāo)等專用權(quán)的合法性公司,任何個人機構(gòu)不得擅自使用。
圓晶硅片清洗機