本儀器主要用于掃描電子顯微鏡樣品鍍覆導(dǎo)電膜（金膜），儀器操作簡(jiǎn)單方便，是配合中小型掃描電子顯微鏡制樣必備的儀器。
Ø       玻璃處理室：Φ100mm、高度130mm
Ø       試樣臺(tái)尺寸：Φ40mm可同時(shí)放6個(gè)樣品杯
Ø       金靶尺寸：Φ58mm
Ø       真空系統(tǒng)：直聯(lián)旋片真空泵2L/S
Ø       真空檢測(cè)：皮氏計(jì)
Ø       真空保護(hù)：20Pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空
Ø       工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣，配有氬氣專用進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié)
應(yīng)用領(lǐng)域：
    金的離子濺射

010-82548216