電子工業(yè)中,生產(chǎn)單晶硅半導(dǎo)體材料、二極管、三極管、集成電路、光、硬盤、顯象管時(shí),都需要達(dá)到電子級(jí)標(biāo)準(zhǔn)的工藝用水,在我國(guó),電子級(jí)水共分五個(gè)級(jí)別,部分指標(biāo)如下:
指標(biāo) 級(jí)別 EW-Ⅰ EW-Ⅱ EW-Ⅲ EW-Ⅳ EW-Ⅴ
電阻率
MΩ.cm(25℃) 18
90%時(shí)間最小17 15
90%時(shí)間最小12 10
90%時(shí)間最小8 ≥2 ≥0.5
大于1μm微粒數(shù),最大值,個(gè)/ml 1 5 10 100 500
大于0.5μm微粒數(shù),最大值,個(gè)/m 100 300 500 1000 2000
細(xì)菌個(gè)數(shù),最大值,個(gè)/ ml 1 5 10 50 100
總有機(jī)碳含量,最大值 50 100 200 1000 5000
二氧化硅總含量,最大值 2 20 50 100 1000
電子級(jí)水基本制水流程如下:
原水 預(yù)處理 反滲透 混床 UV MF
我司從事高純水、超純水設(shè)備的生產(chǎn)有多年歷史,可按用戶的需求提供達(dá)到電子級(jí)別用水的生產(chǎn)線。
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電子工業(yè)高純水設(shè)備