濕法設備又名半導體濕制成設備,Wet Station,半導體清洗設備。是應用于半導體清洗方面的設備。
WS-1000濕法設備產于美國,是原裝的半導體濕制成設備。半導體濕制成設備廠家介紹:
美國Laurell,Inc總部位于美國賓夕法尼亞,成立于1985年,是一家專業(yè)提供化工半導體材料清潔涂敷處理等特殊工藝的公司。公司擁有WS-1000-CP5/ WS-1000-CP7-D等各類半導體清洗設備,目前客戶已遍布全球。主要半導體濕制成設備有以WS-1000濕法設備和WS-1000m濕法設備為代表的多種半導體清洗設備。WS-1000濕法設備有標準型和更優(yōu)的濕法設備,標準型濕法設備使用于一般要求,更好的濕法設備具有優(yōu)良性能,滿足客戶對半導體清洗設備的更高要求。半導體清洗設備有不同型號,請根據具體需要選擇半導體清洗設備。推薦的半導體清洗設備:WS-1000m濕法設備,WS-1000濕法設備的一般特性:
◆全白色聚丙烯構造濕法設備
◆可內置任何Laurell公司的旋涂機
◆排放簡便的入氮口和DI噴頭
◆如果需要更小尺寸有微型的供選擇
WS-1000濕法設備一般信息:
Laurell公司的WS-1000系列旋轉處理濕法設備可以被配置成測試模塊構造,安裝簡便,易于拆卸,更便于操作者控制。典型的WS-1000處理過程包括(但不限于):
◆涂敷
◆蝕刻
◆開發(fā)-水/溶劑
◆清洗-水/溶劑
◆確認,硫酸/雙氧水(原樣混合)
◆確認,HBr
◆溫控開發(fā)
◆沖洗/烘干WS-1000濕法設備特點:
全聚丙烯構造(見下文的自滅火功能)
可兼容安裝任何Laurell 旋涂機
有排孔的濕隔層(易于拆除)
潮濕的空間
標準規(guī)格的排氣空間
被熱水器,水泵,容器等隔離的組件/容器WS-1000濕法設備選項:
◆排氣聯(lián)鎖控制處理器(一些型號是標準的)
◆加熱和原材料攪拌
◆抵抗力沖洗
◆排水轉向裝置
◆真空負荷棒
◆晶片盒座
◆檢漏
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濕法設備