勻膠機(jī)(Spin Coater)，有許多別名：勻膠機(jī)，旋轉(zhuǎn)涂敷儀，有甩膠機(jī)、涂膠機(jī)、勻膠臺(tái)、涂層機(jī)、涂膠機(jī)、涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜儀等，其勻膠機(jī)工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。

勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶圓片、光學(xué)玻璃、化學(xué)玻璃等表面涂覆材質(zhì)，美國Laurell高精度的旋涂儀勻膠機(jī)主要應(yīng)用科研院所進(jìn)行科學(xué)研究，課題公關(guān)所用。

勻膠機(jī)特色：
◆ 科研制備理想的勻膠機(jī)旋涂儀；   
◆ 勻膠機(jī)由NPP或Teflon材質(zhì)構(gòu)造；
◆ 勻膠機(jī)分為150毫米，200毫米和300毫米三種腔體大?。?br>◆ 勻膠機(jī)可選擇臺(tái)式，立式和特殊環(huán)境內(nèi)置式不同外形；
◆ 勻膠機(jī)的最大轉(zhuǎn)速可達(dá)10000RPM；
◆ 易編程的數(shù)碼控制器（400/500型控制器）；
◆ 可升級(jí)成為自動(dòng)滴膠型勻膠機(jī)；

勻膠機(jī)超準(zhǔn)的速度控制：
我們的勻膠機(jī)數(shù)碼速度控制器采用的是一個(gè)高計(jì)數(shù)位的光學(xué)編碼器輸入至伺服馬達(dá)控制器，其設(shè)置點(diǎn)精度小于0.006%（遵照美國NIST激光測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)），無需校準(zhǔn)；
 
勻膠機(jī)內(nèi)包含20個(gè)51步程序段或者手動(dòng)模式，非常方便設(shè)定速度和加速度程序段， 1~10000RPM的穩(wěn)定轉(zhuǎn)速可以隨意設(shè)定！

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