MSC系列勻膠機為美國原裝進口全自動數(shù)字式勻膠機。
該勻膠機適用于半導(dǎo)體、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝。
這一系列勻膠機還可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。MYCRO MSC-650系列勻膠機旋涂儀轉(zhuǎn)速獲NIST標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證。MYCRO MSC-400B型勻膠機,為高精度數(shù)碼控制器的勻膠旋涂儀,非常方便設(shè)定速度和加速度程序段,勻膠機內(nèi)共設(shè)有20個51步程序段或者手動模式,100~8000RPM的穩(wěn)定轉(zhuǎn)速,也可特別訂制1~12000RPM的轉(zhuǎn)速,可重復(fù)性達到+/-0.5RPM,分辨率小于0.5RPM。MSC-400B系列勻膠機的數(shù)碼速度控制器采用的是一個高計數(shù)位的光學(xué)編碼器輸入至伺服馬達控制器,其設(shè)置點精度小于0.006%,獲美國NIST激光測量標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證,無需校準(zhǔn)。請根據(jù)您實際需要的大小和材質(zhì)選擇相應(yīng)的勻膠機/旋涂儀訂購代碼:NPP材質(zhì)的6英寸勻膠機系列型號MSC-400B-6N MSC-400B-6N-INDMSC-400B-6N-OND◆勻膠機為NPP材質(zhì)臺式
◆8.5英寸 (216 毫米) 直徑 桶狀處理腔
◆勻膠機可以涂敷最大直徑為6英寸 (150 毫米)或4英寸 X 4英寸 (102 X 102 毫米)的方形基底材料
◆理想的旋轉(zhuǎn)涂敷儀
◆銷量最好的臺式系統(tǒng)勻膠機
NPP材質(zhì)的8英寸勻膠機系列型號:MSC-400B-8NMSC-400B-8N-INDMSC-400B-8N-OND◆勻膠機為NPP材質(zhì)內(nèi)置式帶遠(yuǎn)程控制器
◆12.5英寸 (318 毫米) 直徑 桶狀處理腔
◆勻膠機可以涂敷最大直徑為8英寸 (200 毫米)或7英寸 X 7英寸 (178 X 178 毫米) 的方形基底材料
◆這系列勻膠機是銷量最好的wet-bench型系統(tǒng) MSC系列勻膠機內(nèi)的高精度數(shù)碼控制器:
可設(shè)定存儲20個不同樣片的旋涂程序段;
每個程序段可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài);
勻膠機隨意任意時間范圍的加減速,可重復(fù)性達到+/-0.5RPM,分辨率小于0.5RPM;
這一系列的勻膠機上的液晶顯示屏可以實時讀取任意速度狀態(tài)需要更詳細(xì)的咨詢,請與邁可諾技術(shù)有限公司 中國營銷服務(wù)中心聯(lián)系
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MSC系列美國產(chǎn)全自動數(shù)字式勻膠機