4000A(400nm)柵極氧化固態(tài)劑量計
技術(shù)要求
典型數(shù)值在27°C
氧化層厚度4000A
輻射Vth靈敏度
輻射場= 0.125 MV/cm : 靈敏度 = 0.25mV/rad
輻射場= 0 MV/cm : 靈敏度 = 0.18mV/rad
(靈敏度在 1.5 krad(H2O),在以下讀寫器的配置中使用一個恒量10µA)
溫度補償
TVTC 6.4mV/°C
(該數(shù)據(jù)出自溫度27°C-100°C線性模式中的外推Vtp數(shù)值.)
線性模式中Z.T.C. 數(shù)值 ~ 1.85µA
(Vs=Vb=0, Vds=-0.1)
飽和模式中Z.T.C.數(shù)值 ~ 20µA
(使用以下讀寫器電路配置)
預(yù)輻射劑量計的特點
閾值電壓(外推) -6.9 +/- 0.3V
Vth漂移時間(秒) 1.5mV/十年
(該數(shù)據(jù)出自讀寫器配置強迫40µA,兩個中有一個因子會增大)
氧化層擊穿電壓>75V
溝道漏電流 Vd=-12, Vg=Vs=Vbulk=0 ~ 2 pA
亞閾值斜率240 +/- 20 mV/十年
溝道電阻 Vgs-Vth=5V, Vds=-0.1 ~ 0.84 Mohms
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4000A(400nm)柵極氧化固態(tài)劑量計