4000A(400nm)植入式柵極氧化固態(tài)劑量計(jì)
技術(shù)要求
典型數(shù)值在27°C
氧化層厚度4000A
輻射Vth靈敏度
輻射場(chǎng)= 0.125 MV/cm : 靈敏度= 1.33mV/rad
輻射場(chǎng)= 0 MV/cm : 靈敏度= 0.463mV/rad
(靈敏度在 1.5 krad(H2O),在以下讀寫(xiě)器的配置中使用一個(gè)恒量10µA)
溫度補(bǔ)償
TVTC 2.5mV/°C
(該數(shù)據(jù)出自溫度27°C-100°C線性模式中的外推Vtp數(shù)值.)
線性模式中Z.T.C. 數(shù)值~ -500nA
(Vs=Vb=0, Vds=-0.1)
飽和模式中Z.T.C.數(shù)值~ -1µA
(使用以下讀寫(xiě)器電路配置)
預(yù)輻射劑量計(jì)的特點(diǎn)
閾值電壓(外推) -1.0 +/- 0.4V
Vth漂移時(shí)間(秒) 2.5mV/十年
(該數(shù)據(jù)出自讀寫(xiě)器配置強(qiáng)迫40µA)
氧化層擊穿電壓~280V
溝道漏電流 Vd=-12, Vg=Vs=Vbulk=0 ~ 25 pA
亞閾值斜率220 +/- 20 mV/decade
溝道電阻 Vgs-Vth=5V, Vds=-0.1 ~ 0.75 Mohms
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4000A(400nm)植入式柵極氧化固態(tài)劑量計(jì)