Kosaka ET200臺(tái)階儀

     
 
    株式會(huì)社小坂研究所（KOSAKA）是于1950年創(chuàng)立，也是日本第一家發(fā)表光學(xué)杠桿表面粗糙度計(jì)，是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的專(zhuān)業(yè)廠(chǎng)商，主要有測(cè)定/自動(dòng)/流體三大部門(mén)。其中測(cè)定部門(mén)為最具代表性單位且在日本精密測(cè)定也占有一席無(wú)法被取代的地位。
 
     KOSAKA ET200基于 Windows XP操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半導(dǎo)體硅片、太陽(yáng)能硅片、薄膜磁頭及磁盤(pán)、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測(cè)量的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200 能精確可靠地測(cè)量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。
    ET200配備了各種型號(hào)探針，提供了通過(guò)程序控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色 CCD原位采集設(shè)計(jì)，可直接觀察到探針工作時(shí)的狀態(tài)，更方便準(zhǔn)確的定位測(cè)試區(qū)域。 

產(chǎn)品特點(diǎn)：

二次元表面解析，可測(cè)量段差

高精度、高分辨率和良好的再現(xiàn)性

FPD面板顯示，可測(cè)定微細(xì)表面形狀、段差、粗度等

低測(cè)定力，可測(cè)定軟質(zhì)材料

技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)
 ET200
 
最大樣品尺寸
 φ160x48mm
 
樣品臺(tái)
 尺寸
 φ160
 
傾斜度
 ±2°（X,Y手動(dòng)）
 
承重
 2Kg
 
檢出器
 觸針力
 10μN(yùn)-500μN(yùn)（1mg-50mg）
 
范圍
 600μm（0.1nm分辨率）
 
驅(qū)動(dòng)
 直動(dòng)式（差動(dòng)變壓器）
 
觸針
 R2μm  頂角60°
 
X軸
 最大測(cè)長(zhǎng)
 100mm
 
直線(xiàn)度
 0.02μm/100mm
 
速度
 0.005-20mm/s
 
重復(fù)性
 ±5μm（定位）
 
Y軸
 最大測(cè)長(zhǎng)
 25mm/手動(dòng)
 
Z軸
 最大測(cè)長(zhǎng)
 50mm
 
放大倍數(shù)
 垂直
 50-2000000
 
水平
 1-10000
 
監(jiān)控系統(tǒng)
 攝像裝置
 1/3 inch CCD
 
監(jiān)視裝置
 視頻捕捉板
 
移動(dòng)方法
 手動(dòng)
 
輔助功能
 教學(xué)、機(jī)動(dòng)傾斜、傾斜度分析、檢出器自動(dòng)停止功能等
 
應(yīng)用
 成像、臺(tái)階、粗糙度、波紋度和傾斜度
 
重復(fù)性
 1σ1nm
 
電源
 AC90-240V  50/60Hz 300VA
 
外觀尺寸
 W500xD440xH630mm 120Kg（不含防震臺(tái)）
 
主要應(yīng)用---膜厚測(cè)量

前制程機(jī)臺(tái)（如曝光機(jī)、濺鍍機(jī)、蝕刻機(jī)）best recipe 找尋。例如：PVD、CVD、DLC真空濺鍍薄膜臺(tái)階、應(yīng)力測(cè)試及軟質(zhì)光阻材料等薄膜臺(tái)階測(cè)量。