被動(dòng)隔振裝置
 
 蜂窩臺(tái)基型空氣彈簧式隔振裝置AYA系列
 
 

Type K5
  
Type K4
 

    AYA 系列可謂是明立精機(jī)利用其獨(dú)有的先進(jìn)技術(shù)開發(fā)出的集大成之作。通過強(qiáng)化水平方向的隔振性能，區(qū)分垂直、水平全部方向的微小振動(dòng)，達(dá)到了滿足干涉計(jì)或全息攝影等光學(xué)實(shí)驗(yàn)的需求，而且各個(gè)機(jī)構(gòu)的性能也進(jìn)一步提高，是一個(gè)兼?zhèn)涓鞣N鋼制蜂窩夾層臺(tái)面優(yōu)點(diǎn)的高性能隔振裝置。

明立精機(jī)獨(dú)有的平行搖擺機(jī)構(gòu) 
    內(nèi)置了明立精機(jī)所獨(dú)有的平行搖擺機(jī)構(gòu)。這樣一來(lái)水平方向的固有頻率達(dá)到了為以往的1/3以下即0.5Hz。由于很多光學(xué)實(shí)驗(yàn)需要將透鏡、棱鏡、反射鏡等利用支架和底座固定在平臺(tái)上以后才能進(jìn)行，這對(duì)水平方向上的振動(dòng)會(huì)有微妙的影響，而此機(jī)構(gòu)正是針對(duì)這種情況的解決方案。

重視易用性的新機(jī)構(gòu)
    把可變阻尼的空氣阻尼機(jī)構(gòu)作為標(biāo)準(zhǔn)配置沒，該機(jī)構(gòu)可以根據(jù)光學(xué)實(shí)驗(yàn)狀況自由設(shè)定最佳阻尼的。同時(shí)將使用了新材料Alpha-GEL的新型減震器用在了AYA 系列上。當(dāng)平臺(tái)在搖晃時(shí)，在不影響減震性能的前提下，水平與垂直方向上阻尼都具有更強(qiáng)的使平臺(tái)穩(wěn)定的能力，變得更易于使用。
Alpha-GEL是（株式會(huì)社）geltec的注冊(cè)商標(biāo)。

AYA-Type K5

M6 的螺孔經(jīng)過標(biāo)準(zhǔn)加工。（請(qǐng)?jiān)诼菘字行木?0mm與螺孔中心距25mm中指定一個(gè)。） 
在螺孔的內(nèi)側(cè)安裝密封帽，使其成為密封構(gòu)造。自動(dòng)調(diào)節(jié)水平傳感器如果采用集中排氣型號(hào)，即使在級(jí)別100的凈化室內(nèi)也能使用。 
能在不降低蜂窩夾層平臺(tái)剛度的前提下進(jìn)行連接（選購(gòu)）。

技術(shù)參數(shù)
型號(hào) AYA-1007K5 AYA-1209K5 AYA-1510K5 AYA-1809K5 AYA-1812K5 AYA-2010K5 AYA-2012K5 AYA-2015K5 
固有頻率 垂直:1.1Hz  水平:0.5Hz 
隔振方式
 垂直:隔膜型空氣彈簧     水平: 平行搖擺機(jī)構(gòu)
 
隔振來(lái)源 垂直:Air 可變阻尼孔上的空氣阻尼   水平: Alpha-GEL上的特殊阻尼 
水平調(diào)節(jié)方式
 通過自動(dòng)調(diào)節(jié)水平裝置來(lái)自動(dòng)保持平衡 
臺(tái)面尺寸(mm) 1030x730 1200x900 1500x1000 1800x900 1800x1200 2000x1000 2000x1200 2000x1500 
臺(tái)面厚度(mm) 100 200 
臺(tái)面材質(zhì) 鋼制蜂窩夾層:上面板為具有磁性的不銹鋼SUS430 5t(6t)，下面板SS400 4.5t 
機(jī)體高度(mm) 800 
機(jī)體重量(kg) 185 280 365 390 465 440 505 615 
承載(kg) 300 
共計(jì)空氣壓力 0.35-0.70MPa （安裝自帶過濾器的減壓閥） 

型號(hào) AYA-2212K5 AYA-2215K5 AYA-2412K5 AYA-2415K5 AYA-3012K5 AYA-3015K5 AYA-3612K5 AYA-4015K5 
固有頻率 垂直:1.1Hz  水平:0.5Hz  垂直:1.2Hz  水平:0.8Hz 
隔振方式
 垂直:隔膜型空氣彈簧     水平: 平行搖擺機(jī)構(gòu)
 
隔振來(lái)源 垂直:Air 可變阻尼孔上的空氣阻尼   水平: Alpha-GEL上的特殊阻尼 
水平調(diào)節(jié)方式
 通過自動(dòng)調(diào)節(jié)水平裝置來(lái)自動(dòng)保持平衡 
臺(tái)面尺寸(mm) 2200x1200 2200x1500 2400x1200 2400x1500 3000x1200 3000x1500 3600x1200 4000x1500 
臺(tái)面厚度(mm) 200 300  
臺(tái)面材質(zhì) 鋼制蜂窩夾層:上面板為具有磁性的不銹鋼SUS430 5t(6t)，下面板SS400 4.5t 
機(jī)體高度(mm) 800 
機(jī)體重量(kg) 535 655 580 710 800 995 945 1275 
承載(kg) 300 
共計(jì)空氣壓力 0.35-0.70MPa （安裝自帶過濾器的減壓閥） 

標(biāo)注：固有頻率是最大載荷（平均負(fù)載）時(shí)的值 

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AYA-Type K4

M6 的螺孔經(jīng)過標(biāo)準(zhǔn)加工。（請(qǐng)?jiān)诼菘字行木?0mm與螺孔中心距25mm中指定一個(gè)。）

在螺孔的內(nèi)側(cè)安裝密封帽，使其成為密封構(gòu)造。自動(dòng)調(diào)節(jié)水平傳感器如果采用集中排氣型號(hào)，即使在級(jí)別100的凈化室內(nèi)也能使用。 
能在不降低蜂窩夾層平臺(tái)剛度的前提下進(jìn)行連接（選購(gòu)）。
技術(shù)參數(shù)
型號(hào) AYA-1007K4 AYA-1209K4 AYA-1510K4 AYA-1809K4 AYA-1812K4 AYA-2010K4 AYA-2012K4 AYA-2215K4 
固有頻率 垂直：1.1Hz       水平：0.5Hz 
隔振方式 垂直：隔膜型空氣彈簧               水平：平行搖擺機(jī)構(gòu) 
隔振來(lái)源 垂直：可變阻尼孔上的空氣阻尼   水平： Alpha-GEL上的特殊阻尼 
水平調(diào)節(jié)方式 通過自動(dòng)調(diào)節(jié)水平裝置來(lái)自動(dòng)保持水平 
臺(tái)面尺寸(mm) 1030x730 1200x900 1500x1000 1800x900 1800x1200 2000x1000 2000x1200 2200x1500 
臺(tái)面厚度(mm) 100 200 
臺(tái)面材質(zhì) 鋼制蜂窩夾層：上面板SUS430 5t(6t)，   下面板SS400 4.5t 
機(jī)體高度(mm) 800 
機(jī)體重量(kg) 170 250 325 350 410 385 440 535 
承載(kg) 300 
供給空氣壓力 0.35-0.70MPa （安裝有自帶過濾器的減壓閥） 

型號(hào) AYA-2212K4 AYA-2215K4 AYA-2412K4 AYA-3012K4 AYA-3015K4 AYA-3615K4 AYA-4012K4 AYA-4015K4 
固有頻率 垂直：1.1Hz       水平：0.5Hz 垂直：1.2Hz       水平：0.8Hz  
隔振方式 垂直：隔膜型空氣彈簧               水平：平行搖擺機(jī)構(gòu) 
隔振來(lái)源 垂直：可變阻尼孔上的空氣阻尼   水平： Alpha-GEL上的特殊阻尼 
水平調(diào)節(jié)方式 通過自動(dòng)調(diào)節(jié)水平裝置來(lái)自動(dòng)保持水平 
臺(tái)面尺寸(mm) 2200x1200 2200x1500 2400x1200 3000x1200 3000x1500 3600x1500 4000x1200 4000x1500 
臺(tái)面厚度(mm) 200  300 
臺(tái)面材質(zhì) 鋼制蜂窩夾層：上面板SUS430 5t(6t)，   下面板SS400 4.5t 
機(jī)體高度(mm) 800 
機(jī)體重量(kg) 465 570 505 655 810 945 830 1025 
承載(kg) 300 
供給空氣壓力 0.35-0.70MPa （安裝有自帶過濾器的減壓閥）