空氣壓力控制式主動隔振系統(tǒng)MAPS系列 

小型卻可以除去全自由度方向的振動
明立精機MAPS系列的主動隔振系統(tǒng)是將垂直用和水平用的氣壓啟動器集結(jié)到小型單體的組合式模型。同時使用4個同樣單體便可以對全自由度方向的振動發(fā)揮出優(yōu)越的隔振性能，制振性能及定位性能。

可以除去被動隔振所無法除去的頻帶域上的振動
被動隔振常常會遇到由系統(tǒng)固有振動所引起的共振問題。主動隔振除了可以消除共振現(xiàn)象以外，還可以除去在此頻帶域上的振動。例如，對于被動隔振所不太在行的 2Hz附近低頻振動，主動隔振可以將振動減小至被動隔振的1/30至1/100。

標準MAPS可以為10噸以上的承載裝置隔振
近來隨著機能的充實，精密器械越來越趨向于大型化。總重量超過10噸以上的裝置已經(jīng)被開發(fā)出來了。裝置的大型化導致固有頻率的降低，從而使至今幾乎沒成為問題的低頻振動也會成為問題。這也是為什么精密器械需要低頻隔振性能優(yōu)越的主動隔振系統(tǒng)的理由之一。

承載運轉(zhuǎn)載物臺也不會有振動
在由柔軟彈性體支撐而實現(xiàn)隔振效果的被動隔振裝置上放上X-Y載物臺等運轉(zhuǎn)裝置時，整個系統(tǒng)會產(chǎn)生較大的搖動反而會使振動加大。主動隔振是通過反饋控制使裝置保持靜止狀態(tài)而達到減振的目的。另外，事先根據(jù)載物臺運轉(zhuǎn)的信號輸出，通過輸入將振動抑制到最小的反饋控制，便可以實現(xiàn)幾乎沒有振動的環(huán)境。

MAPS在定位精度及保持水平精度方面也很優(yōu)越
裝置越大，傾斜就越成問題。由于裝置自身很重，傾斜會帶來由自重而引起的彎曲從而對精度產(chǎn)生極大的影響。MAPS也將水平精度調(diào)節(jié)包含在控制過程，從而防止了傾斜且保證了水平精度。另外，MAPS在定位精度方面的控制可以使芯片或液晶板的交接得以順利實施。

MAPS是小型且易使用的組合體
MAPS系列是為了方便與承載裝置組合而將所需的全部功能集結(jié)至小型組合體的隔振裝置。只要為MAPS的安裝確保所需的空間，你便可以得到所需的隔振效果。MAPS系列的控制系統(tǒng)非常安定。它不僅可以使用于公司內(nèi)部設(shè)備的使用，而且可以安心地用于銷售給客戶的產(chǎn)品之中。

MAPS是構(gòu)成精密器械的重要部分之一
至今，大多客戶是由于擔心振動而使用隔振裝置的?？墒请S著精密器械高精度化，高功能化和大型化的進展，若不使用隔振裝置來消隔振動的影響的話，精密器械就不能按照產(chǎn)品說明書上寫的那樣正常地發(fā)揮其性能。因此，隔振裝置不止是精密器械的附帶裝置，而且是構(gòu)成精密器械及發(fā)揮精密器械性能的不可缺少的重要組成部分。

在裝置開發(fā)開始時就請與我們聯(lián)系
MAPS將隔振所需要的功能全部集結(jié)至小型組合體。因此，不需要象從前那樣地為安裝隔振裝置而保留很大的空間。當然，MAPS在裝置開發(fā)后也可以進行安裝，但會有很多限制條件產(chǎn)生。無論從隔振性能或費用來講，裝置開發(fā)后的安裝并不是最佳方案。在裝置開發(fā)階段就應以MAPS裝入進去的狀態(tài)進行臺架及框架的設(shè)計。這樣不僅可以有效地利用空間也可以將MAPS安裝在使隔振性能達到最佳的有利位置。
因此，在開始設(shè)計開發(fā)精密器械時就將MAPS的安裝也同時考慮在內(nèi)的話，便可以使振動環(huán)境達到更優(yōu)化的狀態(tài)。 

MAPS系列標準型的主要規(guī)格
型號 MAPS-008 MAPS-016 MAPS-033 MAPS-065 MAPS-130 MAPS-240 
可乘載的重量 [kN]
([kgf]) 4 - 8
(400 - 800) 8 - 16
(800 - 1600) 16 - 33
(1600 - 3400) 33 - 65
(3400 - 6600) 65 - 130
(6600 - 13300) 130 - 240
(13300 - 24500) 
機體尺寸 WxDxH [mm] 235x235x130 295x295x140 350x350x150 450x450x190 600x480x190 700x600x267 
1個組裝體的機體重量 [kg] 13 42 63 110 180 230 
供給空氣壓 [MPa] 0.6 - 0.8 
穩(wěn)態(tài)空氣消費量 [l/min] 45 - 65 120 - 170 
最大空氣消費量 [l/min] 120 300 
電源電壓 [V] 100 - 240 (AC, 50/60Hz) 
額定消費電力 [W] 400 450 
定位精度 [mm] 0.001 - 0.050 
控制軸數(shù)量 <=6