IbeX波譜儀尺寸緊湊，能與幾乎所有的掃描電鏡匹配。在對(duì)靈敏度，分辨率和峰背比要求嚴(yán)格的情況下，是對(duì)能譜儀的完美補(bǔ)充。IbeX較全聚焦波譜技術(shù)的固體角增大一個(gè)量級(jí)，但成本低得多。
硬件和電子學(xué)線路
多元素波譜儀，可分析多至6元素的通用晶架，流氣正比計(jì)數(shù)器和電子學(xué)線路，IbeX馬達(dá)和控制系統(tǒng)。
軟件
能譜圖中重疊峰的高分辨鑒定采譜，貯存和調(diào)出譜數(shù)據(jù)，自動(dòng)峰鑒定，KLM標(biāo)記，報(bào)告打印，定量分析和人工校正。WINDOWS 視窗操作系統(tǒng)。
可單獨(dú)訂購或者和X-射線微區(qū)分析系統(tǒng)一起訂購。定量分析需用束流計(jì)
IbeX波譜儀