將一種獨(dú)有的X-射線光學(xué)平行光束裝置靠近樣品，如同能譜探測器那樣。熱電的MAXray平行光束譜儀就能將并不平行的X-射線變成平行的光束。此法將波譜儀的色散性能和大面積能譜探頭的靈敏度結(jié)合起來，用于微區(qū)分析低電壓/低束流的應(yīng)用。
MAXray設(shè)計(jì)用于50~100pA的FESEM或SEM上100eV至1.8keV范圍的K、L或M線的元素。它的獨(dú)特的X-射線聚焦光學(xué)裝置產(chǎn)生的X-射線平行光束的強(qiáng)度可高達(dá)普通波譜儀（WDS）的50倍。因此具有極強(qiáng)的探測靈敏度。
MAXray平行光束譜儀包括多元素X-射線聚焦光學(xué)裝置，手動可收縮滑板和多軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，流氣正比計(jì)數(shù)管，集成電子學(xué)，馬達(dá)和電子控制系統(tǒng)。
MAXray 擴(kuò)展型(ER)使用一種專利的混合X-射線聚焦光學(xué)，綜合了閃爍入射和多毛細(xì)管光學(xué)裝置，其分析的能量范圍在與標(biāo)準(zhǔn)MAXray同樣的低壓范圍時(shí)從100eV擴(kuò)展至10keV。
MAXray平行光束譜儀特點(diǎn)：
w 極佳的固定角度X-射線收集
w 重疊峰的WDS分辨
w 權(quán)威的元素鑒定
w 超高靈敏度
w 高分辨率定量分析
w X-射線峰分布圖和線掃描
w 準(zhǔn)確，高立體分辨率X-射線分布圖和線掃描
可以單獨(dú)訂購或者與EDS微區(qū)分析系統(tǒng)一起訂購。定量分析需要束流計(jì)。
MAXray平行光束譜儀