MicronX型熒光測厚儀是一種專門應(yīng)用于半導(dǎo)體材料和電子器件領(lǐng)域的檢測設(shè)備。 檢測區(qū)域?yàn)?0m~500um. 通過CCD 可放大圖像達(dá)300倍。通過高精密度樣品臺(tái)可提供元素面分布圖。 可對(duì)多達(dá)7層的涂層或鍍層進(jìn)行逐層厚度測量。