FlexAL設(shè)備為工程納米結(jié)構(gòu)器件提高了靈活性和能力，其方法是通過提供一個(gè)包含遠(yuǎn)程等離子ALD制程和thermal ALD的獨(dú)立平臺。System100 ICP等離子蝕刻設(shè)備的特點(diǎn)在于使用新的Cobra離子源，即：給用戶提供了額外的等離子控制功能，從而為此先進(jìn)工藝提供了更強(qiáng)的靈活性。
MIND是由半導(dǎo)體研究公司納米電子學(xué)研究所 (NRI)主辦的四個(gè)中心之一。MIND還與美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究所、Argonne國家實(shí)驗(yàn)室，國家強(qiáng)磁場實(shí)驗(yàn)室有著合作。
美國中西部納米電子研發(fā)中心（MIND）的Alan Seabaugh教授和董事長Frank M. Freimann提到："納米電子學(xué)研究中心的目標(biāo)是研發(fā)并且發(fā)展能超越傳統(tǒng)設(shè)備性能的下一代納米級別邏輯器件，并使其成為能廣泛應(yīng)用于未來的電腦里面。在Notre Dame大學(xué)，我們選擇了牛津儀器公司的設(shè)備，以促進(jìn)這項(xiàng)工作。因?yàn)榕＝騼x器公司具有先進(jìn)技術(shù)，設(shè)備的通用性和成本效益給研發(fā)工作帶來貢獻(xiàn)。"
牛津儀器公司美國銷售副總裁Stuart Mitchell說， "我們公司的目標(biāo)是追求負(fù)責(zé)任地發(fā)展以及通過科學(xué)和技術(shù)對世界更深入地了解，多年以來我們一直是多著名美國研究機(jī)構(gòu)的主要供應(yīng)商。這個(gè)等離子蝕刻和沉積系統(tǒng)的訂單讓我們成為制造業(yè)領(lǐng)先的供應(yīng)商，并加強(qiáng)了我們在美國科研界作為重要供應(yīng)商的聲譽(yù)。"
