隨著多晶硅,硅片,大陽能電池板工藝的不斷發(fā)展與提高，光伏產(chǎn)業(yè)對(duì)硅片質(zhì)量的檢測(cè)要求也越來越高。由于國外的光學(xué)檢測(cè)太貴,對(duì)非原材料生產(chǎn)廠家是一筆很大的支出,而又需要對(duì)進(jìn)的硅片進(jìn)行檢測(cè)，針對(duì)這種情況，上海測(cè)維光電技術(shù)有限公司開發(fā)了針對(duì)太陽能硅片的檢測(cè)系統(tǒng)。該系統(tǒng)可以對(duì)太陽能電池硅片的”金字塔”的微觀形貌分布情況,及硅片絨面的缺陷分析.例如:硅片檢測(cè)顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測(cè)的位錯(cuò)、劃痕、崩邊等;還可以對(duì)硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括:顆粒、有機(jī)雜質(zhì)、無機(jī)雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格.是太陽能電池硅片生產(chǎn)過程中必不可少的檢測(cè)儀器之一。上海測(cè)維生產(chǎn)的LW300MT硅芯片檢查顯微鏡是適用于對(duì)太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時(shí)配有偏光裝置，及其高像素的數(shù)碼攝像頭.本儀器配有暗場物鏡,使觀察硅片時(shí)圖像更加清晰,是檢測(cè)太陽能電池硅片的”金字塔”的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器。