據(jù)了解，項(xiàng)目組在前期調(diào)研分析基礎(chǔ)上制定了微納結(jié)構(gòu)特性量值溯源體系發(fā)展路線圖。據(jù)此，該項(xiàng)目將在微納幾何結(jié)構(gòu)計(jì)量技術(shù)研究、微納結(jié)構(gòu)化學(xué)特性計(jì)量技術(shù)研究、微納力學(xué)特性計(jì)量技術(shù)研究和微納計(jì)量?jī)x器的核心器件及部件的研制4個(gè)方向開(kāi)展研究。計(jì)劃建立基標(biāo)準(zhǔn)裝置6套、研制標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)7類19~26種、研制計(jì)量用微納核心器件3類和關(guān)鍵部件1套、建立測(cè)量系統(tǒng)4套與測(cè)量方法4項(xiàng)，初步建立較為完整的微納技術(shù)計(jì)量傳遞體系，項(xiàng)目成果水平將達(dá)到或超過(guò)美國(guó)等發(fā)達(dá)國(guó)家現(xiàn)有水平。
微納技術(shù)包括微納米材料、結(jié)構(gòu)、器件、系統(tǒng)的設(shè)計(jì)制造及測(cè)量技術(shù)，涵蓋了微電子、MEMS/NEMS、納米技術(shù)等高新技術(shù)領(lǐng)域，在我國(guó)戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展過(guò)程中具有重要作用。近年來(lái)，微納技術(shù)的發(fā)展對(duì)計(jì)量學(xué)提出了嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)，高準(zhǔn)確度的微納結(jié)構(gòu)特性計(jì)量基標(biāo)準(zhǔn)、標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)以及微納器件和部件是保證微納技術(shù)領(lǐng)域快速可持續(xù)發(fā)展的重要技術(shù)支撐。當(dāng)前，我國(guó)微納技術(shù)研究成果已與先進(jìn)國(guó)家相當(dāng)，產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程顯著加快，不少產(chǎn)品的產(chǎn)量位居世界前列。但高端產(chǎn)品短缺數(shù)量少、品質(zhì)差，缺乏市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力，高水平的基礎(chǔ)研究成果難以產(chǎn)業(yè)化。究其原因，主要就是微納計(jì)量技術(shù)的研究嚴(yán)重滯后、計(jì)量基標(biāo)準(zhǔn)和標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)嚴(yán)重匱乏，核心技術(shù)嚴(yán)重落后，難以支撐我國(guó)微納技術(shù)產(chǎn)業(yè)化的發(fā)展。
