自20世紀(jì)80年代掃描探針顯微鏡(Scanning-probe microscopy,SPM)發(fā)明以來,由于其具有原子量級(jí)的分辨能力,極大地促進(jìn)了納米科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,并已逐步形成了一種高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。SPM的工作原理是通過微小探針在樣品表面進(jìn)行掃描,將探針與樣品表面間的相互作用轉(zhuǎn)換為表面形貌和特性圖像。由于掃描速率較慢,漂移現(xiàn)象在掃描過程中普遍存在,這制約了SPM在納米測(cè)量和納米加工方面的進(jìn)一步應(yīng)用。
黃文浩教授近二十年來一直從事納米技術(shù)與精密儀器領(lǐng)域的研制工作。在2006年,他向國際標(biāo)準(zhǔn)化組織ISO/TC201(表面化學(xué)分析技術(shù)委員會(huì))提出了“掃描探針顯微鏡漂移速率測(cè)量方法標(biāo)準(zhǔn)”的提案,目的是要將SPM工作時(shí)納米/秒的漂移大小和方向測(cè)量出來,以規(guī)范這類儀器的使用方法。2007年該提案正式立項(xiàng),黃文浩教授被指定為該項(xiàng)目工作組的召集人。經(jīng)過四年多的努力,SPM漂移測(cè)量方法標(biāo)準(zhǔn)的最終草案于2011年經(jīng)全體成員國投票后順利通過,并于2012年正式發(fā)布。
該標(biāo)準(zhǔn)定義了描述SPM在X、Y和Z方向的漂移速率的專業(yè)術(shù)語,規(guī)定了SPM漂移速率的測(cè)量方法和測(cè)量程序,對(duì)儀器的功能和工作環(huán)境以及測(cè)量報(bào)告內(nèi)容均作了嚴(yán)格要求。該標(biāo)準(zhǔn)為SPM儀器生產(chǎn)廠家制定了漂移速率的有效參數(shù)規(guī)格,并且能幫助用戶了解儀器的穩(wěn)定性,以便設(shè)計(jì)有效的實(shí)驗(yàn)。該標(biāo)準(zhǔn)不僅適用于基于SPM測(cè)量圖像的漂移速率評(píng)價(jià)方法,對(duì)其它納米級(jí)測(cè)量儀器穩(wěn)定性的評(píng)價(jià)也有著重要參考價(jià)值。
相關(guān)研究工作受到國家自然科學(xué)基金、中科院知識(shí)創(chuàng)新工程重要方向性項(xiàng)目和科技部973項(xiàng)目資助。