為滿足半導體設(shè)備客戶的需求，中科院射頻電源組(www.rf-power.net)經(jīng)過2個月的設(shè)計研發(fā)，于2013年3月正式推出固態(tài)RFG-2000高端型射頻電源(3U風冷系列)，此型號適用于大腔室刻蝕等半導體設(shè)備。此型號帶有RS232/RS485/USB通訊協(xié)議，模擬口通訊，脈沖調(diào)制，相位同步與移相等功能。

固態(tài)RFG-2000高端型射頻電源(3U風冷系列)

　　中國科學院微電子所射頻電源(RF Generator)課題組從1984年開始研發(fā)電子管射頻電源(13.56MHz)，1985年研制成功500W-10KW電子管射頻電源，獲得“ 六五”攻關(guān)榮譽證書以及“FD-2反應(yīng)離子刻蝕機與超精細刻蝕研究”項目二等獎。

　　從2010年開始在極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項(國家02重大專項)項目資金支持下，研發(fā)晶體管射頻電源(13.56MHz)，2011年研發(fā)成功300W-3000W晶體管射頻電源，獲得第七屆國際發(fā)明展覽會銀獎。

　　經(jīng)過二十多年的發(fā)展完善，產(chǎn)品的性能不斷提高，規(guī)格齊全, 目前開發(fā)成熟的電子管與晶體管射頻電源產(chǎn)品有：300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多種規(guī)格以及不同功率的400KHz高頻電源及不同功率的穩(wěn)流源與自動匹配器。

　　年銷售電子管與晶體管射頻源占國內(nèi)市場份額的70%以上。

　　目前射頻電源組，實行組長負責制，下設(shè)三個部門：產(chǎn)品研發(fā)部，產(chǎn)品生產(chǎn)部，產(chǎn)品推廣與售后服務(wù)部。

　　產(chǎn)品研發(fā)部：實行部長負責制，有專業(yè)研發(fā)人員7人，其中碩士及以上比例100%，具有教授級職稱2人，具有博士學歷3人，從清華大學，中科院電工所，中國科學技術(shù)大學引進資深射頻技術(shù)與自動控制專家3人，目前已建立起一支由高級研發(fā)顧問領(lǐng)導的國際化研發(fā)人才團隊。

　　產(chǎn)品生產(chǎn)部：實行部長負責制，有專業(yè)技術(shù)工程師17人，具有500平方專業(yè)射頻電源生產(chǎn)與測試車間(可以進行ESD，EMC等測試)，年生產(chǎn)能力達3000臺套，庫房常年備有庫存，可保證給客戶隨時發(fā)貨。

　　產(chǎn)品推廣與售后服務(wù)部：實行部長負責制，有專業(yè)推廣銷售人員4人，專業(yè)售后服務(wù)人員2人，其中碩士及以上比例100%。

　　射頻電源廣泛應(yīng)用于等離子體研究，集成電路工藝設(shè)備，太陽能光伏工業(yè)，LED制程，薄膜生長，射頻感應(yīng)加熱，醫(yī)療領(lǐng)域的消毒與理療美容，常壓等離子體消毒清洗等領(lǐng)域。

　　中國科學院微電子研究所射頻電源組網(wǎng)址：www.rf-power.net