2.熟悉用干涉法測量表面粗糙度的原理

    3.加深對表面粗糙度評定參數(shù)中的微觀不平度

    一、測量原理

    干涉顯微鏡是利用光波干涉原理和顯微鏡系統(tǒng)測量表面粗糙度的量儀。它用光波干涉原理反映出被測表面的粗糙程度，用顯微系統(tǒng)進(jìn)行高倍放大后觀察和測量。

    二、實驗步驟

    1.調(diào)整量儀

    接通電源，預(yù)熱15-30分鐘;轉(zhuǎn)動手輪至目視位置，轉(zhuǎn)動手輪使遮光板移出光路，此時從目鏡可看到明亮的視場。若視場亮度不勻，可轉(zhuǎn)動螺釘來調(diào)節(jié);轉(zhuǎn)動手輪，使視場中下方的弓形直邊清晰，松開螺釘，取下目鏡，從目鏡管直接觀察到兩個燈絲象。將孔徑光闌開至最大，轉(zhuǎn)動手輪使兩個燈絲象完全重合;將被測工件放在工作臺上，被測表面向下對準(zhǔn)物鏡。轉(zhuǎn)動手輪使遮光板遮住標(biāo)準(zhǔn)鏡，推動滾花輪，使工作臺在任意方向移動，轉(zhuǎn)動滾花輪使工作臺升降，直至視場中觀察到清晰的被測表面影像為止，再轉(zhuǎn)動手輪，使遮光板移出光路。

    2.找干涉帶

    此時采用單色光，慢慢地來回轉(zhuǎn)動手輪，直至視場中出現(xiàn)清晰的干涉條紋為止。

    4.測量

    轉(zhuǎn)動滾花輪，使工作臺旋轉(zhuǎn)，調(diào)節(jié)干涉條紋的方向使之垂直于加工痕跡，松開螺釘，轉(zhuǎn)動目鏡，使視場中十字線的一條直線與干涉條紋平行，然后把目鏡固緊。接著開始測量你所需測量的數(shù)據(jù)。