“加上這三個新產(chǎn)品,在過去一年中,我們已經(jīng)推出了6款TEM新產(chǎn)品,這是前所未有的”。FEI公司執(zhí)行副總裁兼首席營運官Benjamin Loh說道。“所有6款新產(chǎn)品都是為專門的應用工作流程而設計制造,它們將為科研和工業(yè)細分市場的用戶提供了信息,如:材料科學,化學,生命科學,半導體制造等領域。我們的目標是完全改變TEM的世界,從而讓我們的客戶能夠改變他們的世界。”
Metrios?TEM系統(tǒng),致力于為需要開發(fā)和控制晶片制造工藝的半導體制造商提供快速,精確的測量。透射電鏡基本操作和測量程序廣泛的自動化,最大限度地減少對操作人員培訓的要求。其先進的自動化計量提供比手工操作更高的精度。Metrios? TEM的設計,相比其他電鏡,將為客戶提供更好的分析通量和較低的成本。
Talos TEM結合高分辨率,高通量的TEM快速成像,以及精確定量的能量色散X-射線(EDX)分析,提供先進的分析性能。新的TEM采用了FEI目前亮度最高的電子源和最新的EDX檢測技術,可實現(xiàn)對低濃度和輕元素的高效分析,并擁有FEI獨家的3D EDS X射線斷層成像技術。在較低的加速電壓下,允許使用能量較低的電子束,以減少對樣品的損傷。Talos平臺是完全數(shù)字化的,允許遠程操作,并且它可以增加用于特定應用程序的檢測器或動態(tài)實驗的樣品架。Talos平臺自動化程度高并易于使用,非常適合于個人研究室以及多人操作的實驗室。
Titan Themis TEM增強了FEI在原子級成像分析方面的領導地位。研究人員使用高分辨率像差校正TEM來研究大尺寸材料的物理性質(zhì)以及原子尺度之間的組成和結構的關系。Titan Themis平臺可直接測量物理屬性,如磁場,納米尺度,以及下降到原子尺度時的電場。從樣品定位到最終數(shù)據(jù)采集整個流程均實現(xiàn)了自動化,提高結果的重復性和再現(xiàn)性,從而使用戶以更少的時間和精力獲取更有信心的結論。