牛津儀器最新推出一款專為TKD分析的樣品座，TKD即透射菊池花樣演示分析（Transmission Kikuchi Diffraction）技術(shù)，是最新用于檢測僅十幾納米尺度的EBSD分析方法，空間分辨率比傳統(tǒng)技術(shù)提高一個數(shù)量級。該樣品座方便用戶將超輕薄樣品放 置于SEM中并符合光學(xué)原理的衍射花樣，保證獲得最佳信號量。

TKD分析仍使用原有EBSD軟硬件，只是樣品更薄且經(jīng)過電解拋光穿孔。由于衍射信號來自樣品下側(cè)幾個或幾十個納米厚度的區(qū)域，該技術(shù)也被稱為透射 EBSD（T-EBSD）。樣品薄區(qū)的衍射范圍較小，樣品與探測器及極靴的幾何位置是否理想是獲得有效信號的必要條件之一。因此設(shè)計專門的樣品座做TKD 分析就顯得尤關(guān)重要。

EBSD的商務(wù)經(jīng)理，Jenny Goulden博士說：“TKD樣品座是專為超薄樣品設(shè)計，易于固定且符合光學(xué)原理。置于SEM中，即可使用AZtec EBSD系統(tǒng)輕松方便的實現(xiàn)高分辨的EBSD分析。

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