仕富梅全新的SERVOPRO NanoChrome 超痕量氣體分析儀 徹底改變了半導(dǎo)體行業(yè)中的超高純氣體分析

　　通過(guò)引進(jìn)最先進(jìn)的氣體傳感技術(shù)和信號(hào)處理方法, 仕富梅新的SERVOPRO NanoChrome徹底改變了超高純氣體的超痕量純度測(cè)量。

　　專為半導(dǎo)體生產(chǎn)中處于超痕量水平的雜質(zhì)氣體和烴類測(cè)量而設(shè)計(jì)，NanoChrome在一定范圍的常見(jiàn)背景氣體包括氦氣，氫氣，氮?dú)猓瑲鍤夂脱鯕獾拇嬖谙?，可以?duì)氫氣，甲烷，一氧化碳，二氧化碳和非甲烷烴類提供良好穩(wěn)定的sub-ppb級(jí)測(cè)量。其結(jié)果是分析儀不僅提供優(yōu)于傳統(tǒng)火焰點(diǎn)火檢測(cè)器(FID)和還原氣體檢測(cè)(RGD)技術(shù)的眾多測(cè)量和性能優(yōu)勢(shì)，而且提供實(shí)際性的成本和安全效益，是依靠氣體最高純度維持產(chǎn)品質(zhì)量的客戶先前無(wú)法達(dá)到的。

　　卓越的NanoChrome采用由仕富梅特別開發(fā)的一種創(chuàng)新高靈敏度的等離子體發(fā)射探測(cè)器(PED)從而能夠提供超低檢測(cè)限度。已通過(guò)氬氣和氮?dú)獾某哿繙y(cè)量測(cè)試，擴(kuò)展的測(cè)量波長(zhǎng)使測(cè)量H2, CH4, CO 以及CO2以及直鏈烴的測(cè)量無(wú)需甲烷轉(zhuǎn)化器。由于無(wú)需可燃?xì)怏w，仕富梅PED傳感器增加了安全性，同時(shí)降低了運(yùn)營(yíng)成本。

　　NanoChrome利用先進(jìn)的信號(hào)復(fù)蘇技術(shù)增強(qiáng)了分析靈敏度和可靠性，采用專門研制的可調(diào)色譜濾波方法和ProPeak色譜峰檢測(cè)技術(shù)，來(lái)進(jìn)行比先前超高純氣體更敏感的和更具有選擇性的測(cè)量。仕富梅的直接分析方法，使得對(duì)FID和RGD測(cè)量特殊精度的疑慮煙消云散。

　　結(jié)合ServomexDF - 500超痕量分析儀系列和DF- 700微量水分析儀系列，仕富梅現(xiàn)在能為半導(dǎo)體行業(yè)提供單一、完整的可靠超高純氣體分析解決方案, 支持全球網(wǎng)絡(luò)銷售、服務(wù)和維護(hù),仕富梅是目前唯一為所有超高純氣體純度測(cè)量提供完整解決方案的氣體分析制造商。

　　仕富梅集團(tuán)有限公司董事Chuck Hurley指出，“SERVOPRO NanoChrome是對(duì)超高純氣體雜質(zhì)測(cè)量的重大突破，因?yàn)槭烁幻愤\(yùn)用全新的方法應(yīng)對(duì)超高純氣體客戶的需求：通過(guò)單一分析儀提供更靈活、準(zhǔn)確、可靠的測(cè)量，從而提供即時(shí)的性能、成本和安全效益,”。

　　“一旦了解用戶的真正需求，仕富梅研發(fā)團(tuán)隊(duì)就采用了一種全新的方法開發(fā)超高純氣體傳感技術(shù)。他們不僅徹底改進(jìn)了PED傳感技術(shù)，而且在創(chuàng)新ProPeak處理技術(shù)過(guò)程中，我們開發(fā)了新方法來(lái)解釋和處理數(shù)據(jù)。使超高純氣體分析有了真正的飛躍—我們確定這將對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)生積極的影響?！?/FONT>