中國(guó)科學(xué)院電子學(xué)研究所傳感技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室夏善紅研究員團(tuán)隊(duì)經(jīng)過十余年的深入研究,成功研制出基于MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)的電場(chǎng)傳感器系列創(chuàng)新產(chǎn)品,包括地面大氣電場(chǎng)傳感器、探空大氣電場(chǎng)傳感器、三維電場(chǎng)傳感器,以及面向智能電網(wǎng)應(yīng)用的電場(chǎng)傳感器,于2013年9月通過了產(chǎn)品設(shè)計(jì)定型鑒定,已實(shí)現(xiàn)小批量生產(chǎn)和應(yīng)用。
該系列產(chǎn)品的特點(diǎn)有體積小,空間分辨率高,功耗低;無(wú)電機(jī)磨損部件,穩(wěn)定性好,可靠性高;可同時(shí)測(cè)量靜電場(chǎng)和交變電場(chǎng);可用于單點(diǎn)電場(chǎng)探測(cè)或區(qū)域多點(diǎn)無(wú)線組網(wǎng)電場(chǎng)探測(cè)。
產(chǎn)品已在航空航天、智能電網(wǎng)、氣象等多個(gè)領(lǐng)域的二十余家單位使用,受到用戶的一致好評(píng)。
地面大氣電場(chǎng)傳感器
探空大氣電場(chǎng)傳感器
三維電場(chǎng)傳感器
智能電網(wǎng)應(yīng)用電場(chǎng)傳感器
據(jù)業(yè)內(nèi)預(yù)測(cè),隨著全球電子制造業(yè)繼續(xù)向中國(guó)轉(zhuǎn)移,預(yù)計(jì)2013年至2015年,中國(guó)MEMS市場(chǎng)將繼續(xù)保持兩位數(shù)增長(zhǎng),到2016年,中國(guó)MEMS市場(chǎng)銷售額預(yù)計(jì)將超過350億元。