等離子清洗機(jī)真空反應(yīng)艙尺寸：內(nèi)徑4.0英寸（102毫米），7.9英寸（200毫米）深
材質(zhì)：純石英
輸入功率：150W（最大）
工作頻率：13.56MHz
射頻功率：0W~30W 功率旋鈕連續(xù)調(diào)節(jié)
尺寸：12.3英寸（312毫米）高x 30英寸（762毫米）寬x 12.4英寸（315毫米）深
真空計(jì)：熱偶式、數(shù)碼顯示、實(shí)時(shí)監(jiān)控真空反應(yīng)艙內(nèi)壓力。
氣體混合計(jì)：配備氣體流量控制系統(tǒng)，可以精密控制工藝氣體喂入及混合。
配套托盤：純石英材質(zhì)
