日前,JEOL宣布推出新型原子分辨率電鏡JEM-ARM300F。
透射電鏡一直以來是材料研發(fā)當中進行微觀結構分析的重要工具。然而,隨著納米級或原子水平的先進材料的研發(fā),針對這類材料的合成研究越來越需要高分辨率的成像和分析技術。
為了滿足這種需求,日本電子一直聚焦于推出帶有球差校正器的透射電鏡技術來超越目前的分辨率極限。在2009年,日本電子推出了JEM-ARM200F,200kV的透射電鏡,采用了球差校正技術,分辨率達到了80pm(STEM成像),這是首臺達到如此高的分辨率的商品化電鏡。為達到原子分辨率水平,JEM-ARM200F整合各種功能來確保高度穩(wěn)定的性能。目前,已有超過100臺ARM200F安裝在世界各地,許多研究人員對于電鏡原子水平的成像和分析非常熟悉。
同時,隨著像差校正器的廣泛使用,用戶對于透射電鏡又涌現(xiàn)出各種各樣新的需求,除了高分辨率,還有高分析靈敏度、原位分析、靈活的加速電壓控制,和像差校正的易操作性。
因而,JEOL研發(fā)了JEM-ARM300F,可以說是JEM-ARM200F的升級版,300kV的原子分辨率透射電鏡,采用日本電子自有的像差校正技術。JEM-ARM300F的又被稱作“GRAND ARM”,分辨率可達63pm(STEM分辨率)。GRAND ARM可以根據(jù)用戶的需求用于超高分辨率成像,或高靈敏度的分析應用,以及原位分析。
該儀器主要的目標用戶是研究機構或半導體制造商。