日本電子株式會社（JEOL)近期發(fā)布了掃描電鏡和電子探針用軟X射線分析譜儀（SXES ：Soft X-Ray Emission Spectrometer），將掃描電鏡和電子探針對材料分析水平、能力和精度大大擴寬。

    電子光學儀器上發(fā)射的電子束與樣品發(fā)生復雜的交互作用，產(chǎn)生各種信號，收集不同信號進行分析，可以獲得樣品的各種不同信息。軟X射線分析譜儀就是通過采集樣品上被激發(fā)出來的軟X信號進行分析的儀器。它的能量分辨率為0.3eV，遠高于能譜儀（EDS)和波譜儀（WDS）的分辨率；對輕元素的定量分析非常準確，比如B元素的檢出極限可達20ppm；還可以進行元素價態(tài)分析。將掃描電鏡從以側(cè)重圖像為主的儀器變身為圖像、成分、價態(tài)均可清晰表達的超級分析儀器。也將電子探針的分析能力大幅度提升。

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上圖：EDS-WDS-SXES譜峰分辨率比較

上圖：各種氮化物的譜圖檢測分析

上圖：各種碳化物的譜圖分析

上圖：鋰電池充電過程觀察