JEOL已經(jīng)完成了JPS 9030 X射線光電子能譜儀的開發(fā),并于2015年4月10日開始銷售。
近年來,對于高質(zhì)量、快速、操作簡單的表面分析儀器,以及對任何水平的用戶和任何種類的樣品都可實現(xiàn)高重復(fù)性分析的表面分析儀器的需求越來越多。JPS-9030采用了新設(shè)計的用戶操作界面,能夠進一步提升可操作性,并采用了巧妙的、新的現(xiàn)代化的時尚外觀設(shè)計。
JPS-9030采用新開發(fā)的Kaufman型蝕刻離子源可提供的蝕刻速率為1納米/分鐘至100納米/分鐘(SiO2),并允許寬范圍的設(shè)置。它能夠適用于任何應(yīng)用的剖面分析,從要求精度的分析到需要速度的分析。
JPS-9030利用新開發(fā)的軟件使得操作更加簡便。SpecSurf Ver. 2.0現(xiàn)在采用了帶狀式的圖形用戶界面,在一個用戶友好環(huán)境中,所有操作都只需動動鼠標(biāo)就能完成。利用日本電子公司自有的自動定性分析功能,對多個采樣點能夠依次進行定性,定量和化學(xué)態(tài)分析。
JPS-9030支持如角分辨XPS(ARXPS)和全反射XPS(TRXPS)技術(shù),并且能夠?qū)Ρ韺?nm深度進行超靈敏分析(標(biāo)準(zhǔn)測量方法為6nm以上)。
JPS-9030的銷售量目標(biāo)為每年20臺。