半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)
雖然半導(dǎo)體在硅谷衰落,但“亞洲制造”的力量不容小覷,半導(dǎo)體在亞洲地區(qū)成為了重要產(chǎn)業(yè)。近年來中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展,其銷售額甚至超越了全球和美國的平均水平,占據(jù)了全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的三分之一。不過相比于高額的銷售量,大量進(jìn)口的半導(dǎo)體材料折射出了國內(nèi)在半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)的弱勢。
半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)處于集成電路制造環(huán)節(jié)的上游,材料的質(zhì)量直接影響集成電路產(chǎn)品質(zhì)量。作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中規(guī)模最大的產(chǎn)品,集成電路生產(chǎn)工藝極為精細(xì)和復(fù)雜,任何一步發(fā)生錯誤都會造成器件失效。因此,針對以精細(xì)著稱的半導(dǎo)體產(chǎn)品,質(zhì)量檢測離不開更為精細(xì)化、智能化的儀器設(shè)備。為了更好地滿足半導(dǎo)體行業(yè)用戶對產(chǎn)品質(zhì)量檢測的需求,上海西努光學(xué)科技有限公司秉持著“以光學(xué)為核心,為客戶提供解決方案”的經(jīng)驗思路,特此引進(jìn)并向用戶推出奧林巴斯新一代半導(dǎo)體MX63和MX63L工業(yè)檢測顯微鏡。
MX63系列工業(yè)檢測顯微鏡
憑借功能性、人性化、先進(jìn)成像技術(shù)以及模塊化四大特色,MX63和MX63L工業(yè)檢測顯微鏡能夠幫助用戶觀察到使用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷,及時發(fā)現(xiàn)產(chǎn)品問題所在并予以解決。
一、功能性:先進(jìn)的分析工具
1、MIX+Stream不再“霧里看花”
從最基本的功能性來說,MX63系列絕對是一款先進(jìn)的分析工具,能夠滿足行業(yè)用戶對樣品進(jìn)行可靠的缺陷檢測。借助全新照明技術(shù)以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項,用戶在評估樣品和存檔檢測結(jié)果時將會有更多選擇。
以半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)最重要的根基——晶圓為例,傳統(tǒng)顯微鏡在觀察時會由于功能不足,明場條件下難以觀察到清晰的集成電路圖形,暗場又看不見晶圓的顏色。 為了保證質(zhì)量,檢測過程中還會檢查晶圓中殘留的光致抗蝕劑等污染物。傳統(tǒng)顯微鏡熒光條件下可以觀察到殘留物,但卻看不見樣品本身;暗場條件下看見了樣品,殘留物又看不清晰了。為了保證在明場與暗場、熒光或偏光各種條件下,都能得到想要的觀察圖像,MX63系列采用MIX觀察技術(shù),幫助用戶不再“霧里看花”。
MIX觀察技術(shù)
通過顯微鏡觀察到之后又想生成圖像怎么辦?MX63系列先進(jìn)的圖像采集技術(shù)開發(fā)出多種功能,幫助用戶輕松生成需求的圖像。譬如多圖拼接(MIA)功能,用戶只需移動手動載物臺上的XY旋鈕即可輕松快速地完成圖像拼接。再利用Stream軟件的圖案識別功能最終生成全景圖像,從而獲得更寬的視場。如果想獲得攝影作品那般的景深效果又該如何?Stream軟件的擴(kuò)展聚焦成像(EFI)功能就可以滿足。
此外,專業(yè)級報告對圖像的視覺品質(zhì)有要求。圖像上的眩光問題想必困擾了不少用戶,M63系列的高動態(tài)范圍(HDR)功能就可以調(diào)整亮度差異從而解決這一影響畫質(zhì)的問題。體現(xiàn)出該系列顯微鏡與其他同類產(chǎn)品相比,精益求精的高端之處。
2、Stream最大限度減輕用戶工作負(fù)擔(dān)
靠肉眼觀察無法確定產(chǎn)品質(zhì)量是否合格,用數(shù)據(jù)說話才能真正保質(zhì)保量。Stream軟件同樣包括交互測量功能,可滿足電路板圖形之間距離等基本數(shù)據(jù)測量。為了縮短測量過程中大量重復(fù)性任務(wù)的處理時間,Stream還推出了材料解決方案,可為復(fù)雜圖像分析提供直觀的工作流界面,用戶只要點(diǎn)擊按鈕就能快速精準(zhǔn)完成圖像分析任務(wù)。
測量技術(shù)
采集完圖像并得到了測量結(jié)果,就該寫讓人頭痛的復(fù)雜報告了。對此,Stream軟件也能為用戶辦到。除了提供模板,簡化編輯方式,軟件還可以自動導(dǎo)出大小適中、便于郵件傳輸?shù)腗icrosoftWord或PowerPoint文件,真正讓用戶體驗到了“輕辦公”。此外,使用DP22或DP27顯微鏡相機(jī)的MX63是一套獨(dú)立系統(tǒng),所以采集圖像和基本測量工作都可以在幾乎不占空間的條件下完成。如此一來,實驗室空間得到了充分利用,用戶的工作環(huán)境也變得更為舒適。
3、專為潔凈室工作而設(shè)計
實驗室內(nèi)工作最害怕什么?樣品污染或者受損!這將導(dǎo)致前期為樣品準(zhǔn)備的一切工作付諸流水。MX63系列在考慮到這一點(diǎn)的同時,加入了人體工學(xué)設(shè)計,保證用戶在長時間使用中既能保證舒適,還能保證樣品不受污染。以下四大功能真正讓用戶的雙手遠(yuǎn)離了樣品。
?、龠x配晶圓自動搬送機(jī) — AL120系統(tǒng)*:“懶人”福音
這款搬運(yùn)機(jī)與顯微鏡相結(jié)合使用,可以安全地將硅及復(fù)合半導(dǎo)體晶圓從晶圓匣運(yùn)送到顯微鏡載物臺上。從此操作人員再也不必使用鑷子或者其他工具戰(zhàn)戰(zhàn)兢兢地運(yùn)送樣品了。
MX63系統(tǒng)與AL120晶圓自動搬送機(jī)結(jié)合使用(200毫米型號)
?、诜雷o(hù)結(jié)構(gòu)殼+電動物鏡轉(zhuǎn)換器:快速、清潔
顯微鏡所有電動組件都被安裝在防護(hù)結(jié)構(gòu)殼內(nèi),顯微鏡鏡架、鏡筒、呼吸防護(hù)罩、及其他部件均采用防靜電處理,實現(xiàn)了無污染的晶片檢測。而電動物鏡轉(zhuǎn)換器不僅縮短了檢測間隔時間,還讓操作人員的手始終保持在晶圓下方,避免了潛在的污染。
防靜電呼吸罩和電動物鏡轉(zhuǎn)換器
③內(nèi)置離合+傾斜觀察鏡筒:高效、舒適
只要利用內(nèi)置離合和XY旋鈕,就可以實現(xiàn)對載物臺運(yùn)動的粗調(diào)和微調(diào),樣品再大都能實現(xiàn)高效觀察。此外,傾斜觀察鏡筒的擴(kuò)展范圍可讓操作人員以舒適的姿態(tài)坐在顯微鏡前工作。
載物臺手柄和傾斜觀察鏡筒
④系統(tǒng)配置:適合所有晶圓尺寸
該系統(tǒng)可配合各類150–200毫米和200– 300毫米晶圓托架和玻璃臺板使用。如果生產(chǎn)線上的晶圓尺寸發(fā)生變化,可更改載物臺或鏡架。有了MX63系列,各種載物臺均可用于檢測75毫米、100毫米、125毫米和150毫米晶圓。
晶圓托架和玻璃臺板
二、人性化:“有溫度”的人體工學(xué)設(shè)計
MX63系列不止是一套功能多樣的優(yōu)質(zhì)設(shè)備,還是一件有溫度的人性化產(chǎn)品。該系列的“貼心”之處充分體現(xiàn)在顯微鏡操作上。想必不少初學(xué)者在使用相機(jī)時會出現(xiàn)對焦不準(zhǔn)、照片模糊、曝光不足等等問題。相比于經(jīng)驗豐富者傾向于手動調(diào)整焦距、光圈、速度,一般人比較喜歡選擇自動功能。同樣使用光學(xué)原理制成的顯微鏡有沒有這種自動功能呢?MX63告訴你,也可以輕松做到。針對裸晶片之類低對比度樣品,MX63系列在光程中插入聚焦輔助,可以幫助用戶快速找到焦點(diǎn)。此外,相比于需要手動調(diào)整光強(qiáng)度和孔徑的傳統(tǒng)顯微鏡,用戶使用MX63系列時,可以針對不同的倍率和觀察方法設(shè)定光強(qiáng)和孔徑條件。需要的時候能夠輕松調(diào)用這些預(yù)先設(shè)定的設(shè)置,既能節(jié)省時間又可獲得優(yōu)良的圖像質(zhì)量,免去了用戶的使用煩惱。集中化顯微鏡操作、手動開關(guān)以及快照按鈕等其他人體工學(xué)設(shè)計,也大大提升了MX63的人性化水平。
多種人體工學(xué)設(shè)計
三、先進(jìn)成像技術(shù):精細(xì)的光學(xué)性能與數(shù)碼成像
奧林巴斯以高質(zhì)量光學(xué)器件和先進(jìn)數(shù)碼成像技術(shù)的悠久歷史聞名。MX63系列同樣為質(zhì)量檢驗提供了精細(xì)的光學(xué)性能和數(shù)碼成像技術(shù),充分體現(xiàn)了奧林巴斯的工藝水平。
隨機(jī)點(diǎn)樣本和強(qiáng)度分布
物鏡鏡頭的光學(xué)性能對于觀察圖像品質(zhì)和分析結(jié)論有著直接影響。MX63的UIS2高倍率物鏡最大限度減小波陣面像差,從而幫助用戶獲取可靠的分析結(jié)果。高強(qiáng)度白色LED光源可保持始終如一的色溫,色彩再也不會因為光強(qiáng)的變化而變化,可靠的圖像質(zhì)量和色彩浮現(xiàn)得以實現(xiàn)。除了圖像生成和分析,后續(xù)的測量工作也可以借助Stream軟件的自動校準(zhǔn)功能提升可靠性。這款軟件還具備陰影校正功能,可解決圖像角落周邊陰影問題。在配合強(qiáng)度閾值設(shè)置使用時,陰影校正可實現(xiàn)更加精確的分析。
四、模塊化:兼容性和靈活性兼?zhèn)?/p>
用戶需求永遠(yuǎn)存在差異,個性化的需求能夠用標(biāo)準(zhǔn)化的技術(shù)生產(chǎn)體系來滿足嗎?倒不如將生產(chǎn)體系調(diào)整為模塊化,生產(chǎn)出模塊化產(chǎn)品來緩解這種矛盾。MX63系列就是一款極具兼容性和靈活性的模塊化產(chǎn)品,讓用戶能夠選擇各種光學(xué)器件滿足其特定的檢測和應(yīng)用需求。用戶還可以從一系列的Stream圖像分析軟件包中進(jìn)行選擇,以滿足其特定的圖像采集和分析需求。
在兼容性上,無論是MX63系統(tǒng)還是MX63L系統(tǒng),都具有相同的較小占用空間,可兼容多種樣品規(guī)格。在物鏡選擇上,也兼容紅外觀察。5X到100X紅外物鏡可實現(xiàn)從可見光波長到近紅外波長的色差校正。
在靈活性上,用戶完全可以按自己的要求打造獨(dú)有的奧林巴斯系統(tǒng)。顯微鏡鏡架、鏡筒、目鏡、載物臺、光源、物鏡轉(zhuǎn)換器、滑塊、手動控制器、相機(jī)適配器、濾光片、分光鏡組件、透射照明單元、中間鏡筒、UIS2物鏡……這些組件均具備多種規(guī)格供用戶挑選搭配。MX63系統(tǒng)在模塊化上可以說做到了一種極致。
產(chǎn)品設(shè)計
集四大特色于一身的MX63和MX63L工業(yè)檢測顯微鏡,以最先進(jìn)全面的技術(shù)和最實用舒適的設(shè)計,成為業(yè)內(nèi)同類產(chǎn)品之間的佼佼者。上海西努光學(xué)科技有限公司于近幾年獲得了奧林巴斯品質(zhì)管理資格認(rèn)可,并開始引進(jìn)奧林巴斯工業(yè)顯微鏡產(chǎn)品。憑借十余年的行業(yè)經(jīng)驗和對用戶需求的精準(zhǔn)分析,西努光學(xué)推出MX63系列,為用戶提供卓越的光學(xué)解決方案,助力電子制造業(yè)尤其是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在我國的升級改造。未來隨著企業(yè)技術(shù)、資源和服務(wù)的提升,相信西努光學(xué)將繼續(xù)在國內(nèi)光學(xué)產(chǎn)品供應(yīng)商當(dāng)中一路領(lǐng)跑,在獲得更多國內(nèi)外儀器廠商認(rèn)可的同時獲得用戶的信賴。