日立高新技術(shù)公司與筑波大學(xué)于4月1日正式啟動“日立高新技術(shù)先端SEM^*1技術(shù)特別合作研究項目。雙方就在筑波大學(xué)內(nèi)成立研發(fā)中心，未來三年共同推進技術(shù)創(chuàng)新研究事宜達成一致。在本項目中，雙方將攜手共同研究SEM基礎(chǔ)技術(shù)，日立高新技術(shù)長年的技術(shù)沉淀與累積，再加上筑波大學(xué)人才濟濟、扎實的理論知識和雄厚的財力，勢必會推動新產(chǎn)品研發(fā)的過程，促進社會產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

SEM可以觀察到納米尺度的微細結(jié)構(gòu)，而且無需復(fù)雜的前處理。因此，它的應(yīng)用范圍十分廣泛，目前已應(yīng)用到納米技術(shù)、生物技術(shù)等各個領(lǐng)域的研究開發(fā)、質(zhì)量管理中。在以云服務(wù)以及IoT業(yè)務(wù)范圍擴展為目的的半導(dǎo)體元器件開發(fā)、藥物研發(fā)等生命科學(xué)領(lǐng)域中，SEM主要用于產(chǎn)品的觀察、分析以及檢測，未來有望為社會以及產(chǎn)業(yè)的發(fā)展壯大作出更多的貢獻。
　　

因此，電子槍和信號探測器等SEM基礎(chǔ)技術(shù)的開發(fā)尤為重要。在基礎(chǔ)技術(shù)開發(fā)中我們不但要追求思維創(chuàng)新，還要注重企業(yè)的開放式創(chuàng)新研究。

電子束作為日立高新技術(shù)的核心技術(shù)，同時這也是它多年來累積的SEM基礎(chǔ)技術(shù)。憑借獨有的創(chuàng)新技術(shù)，迄今為止日立高新技術(shù)開發(fā)成功的產(chǎn)品數(shù)不勝數(shù)，且高居全球市場占有率之首，例如：用于半導(dǎo)體元器件檢測的高分辨率FEB測長儀器（SEM測長儀），用于新材料結(jié)構(gòu)分析的場發(fā)射掃描電子顯微鏡（FE-SEM）等等。筑波大學(xué)作為筑波科學(xué)城的核心，匯集了多家技術(shù)領(lǐng)先世界的科研機構(gòu)，不但擁有雄厚的資金實力，能夠助力新技術(shù)研發(fā)，而且這里人才輩出，個個學(xué)識淵博，具有豐富的研究開發(fā)經(jīng)驗。為了進一步落實科研成果在產(chǎn)業(yè)界的實際應(yīng)用，我們還建立了“特別合作研究項目制度^*2”，通過校企合作模式，我們正在積極推進課題研究。

在開展本項目的過程中，我們還將充分發(fā)揮雙方的優(yōu)勢，致力于更難SEM基礎(chǔ)技術(shù)課題的研究，努力實現(xiàn)高分辨率、高精度、高通量的技術(shù)研發(fā)。同時，我們會將在校企合作的開放式創(chuàng)新中取得的科研成果應(yīng)用到產(chǎn)品更新升級中，不斷研發(fā)出新型SEM以及SEM的應(yīng)用產(chǎn)品，為IoT等社會基礎(chǔ)設(shè)施、新材料的實際應(yīng)用、病理診斷、制藥等領(lǐng)域建設(shè)貢獻力量。

在本項目中，日立高新技術(shù)和筑波大學(xué)會最大限度發(fā)揮雙方的技術(shù)實力、知識水平以及人力、財力等各種資源，推進研究開發(fā)工作，滿足用戶更廣泛的需求。同時，為實現(xiàn)開放式創(chuàng)新，我們會更加重視人才培養(yǎng)，努力構(gòu)建全新的技術(shù)網(wǎng)絡(luò)。