與此同時(shí),在金瑞泓微電子(衢州)有限公司的車間里,12英寸硅晶圓的生產(chǎn)線正在緊張安裝調(diào)試。12英寸硅晶圓是當(dāng)前制備芯片的基礎(chǔ),其全球生產(chǎn)長期壟斷在少數(shù)幾家外國企業(yè)手中。楊德仁帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)和企業(yè)開展產(chǎn)學(xué)研合作,自主開發(fā)了制備微量摻氮、微量摻鍺、重?fù)搅椎?2英寸硅晶圓技術(shù),目前即將實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。他說:“能夠自己生產(chǎn)12英寸硅晶圓,我們?cè)谛酒a(chǎn)業(yè)國際競(jìng)賽中才有底氣。”
硅材料,半個(gè)多世紀(jì)以來始終是微電子科技和產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展的基石,楊德仁在這一領(lǐng)域耕耘了30多年,研究成果兩次獲得國家自然科學(xué)獎(jiǎng)。“硅儲(chǔ)量豐富、環(huán)境友好、制備成本低……在可預(yù)見的未來,硅仍將是微電子發(fā)展不可或缺的基礎(chǔ)。在硅材料上率先取得新的突破,將推動(dòng)我們?cè)谖㈦娮宇I(lǐng)域的一些關(guān)鍵方面趕超世界先進(jìn)水平。”楊德仁說。
在楊德仁看來,我國硅材料基礎(chǔ)研究已經(jīng)能與國際先進(jìn)水平平等對(duì)話,但走出實(shí)驗(yàn)室,硅材料創(chuàng)新成果的產(chǎn)業(yè)化程度相比發(fā)達(dá)國家還存在明顯差距。“必須堅(jiān)持走自主創(chuàng)新之路,形成自己的核心競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。”他說,中國在硅材料的另一個(gè)重要應(yīng)用領(lǐng)域——太陽能光伏上已經(jīng)取得了世界級(jí)的成功,相信通過進(jìn)一步科學(xué)布局、集聚資源、激活人才……我們?cè)诠杌㈦娮蛹夹g(shù)上也會(huì)不斷有新作為。