擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的高通量掃描電鏡—領(lǐng)航者是一臺怎樣的儀器?具有怎樣的水平?又是如何騰空而出的呢?
聚束科技歷經(jīng)磨礪成功地突破了多項關(guān)鍵技術(shù)。領(lǐng)航者首次采用全電子直接探測器(Direct Electron Detection)技術(shù),實現(xiàn)低能量下二次電子(SE)和背散射電子(BSE)的高清視頻級同步觀測。目前已經(jīng)交付客戶使用的領(lǐng)航者(Navigator)系列Navigator-100產(chǎn)品,在全球同類高檔產(chǎn)品中屬于性能一流的精品。
圖一.聚束科技在2019年北京分析測試學(xué)術(shù)報告會暨展覽會展出高通量掃描電鏡
掃描電子顯微鏡是利用收集電子掃描樣品產(chǎn)出電子信號的成像系統(tǒng)。它通過電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種信號,來獲得材料表面的細節(jié)信息。
領(lǐng)航者電鏡的性能特點鮮明。超高速成像能力達4至8TB/天,使之具備了跨尺度信息融合能力。超大區(qū)域(100mmX100mm)全息成像模式,保持高分辨率情況下對樣品進行全自動無遺漏信息采集,并可繪制成Google地圖式全景信息瀏覽。該系統(tǒng)可對工程級材料進行整體納米晶粒、成分分布統(tǒng)計等電鏡微區(qū)分析。視頻級納米分析能力使掃描電鏡從傳統(tǒng)意義的納米“照相機”躍變?yōu)榧{米“攝像機”。在大視野下獲取高分辨率,在1kV加速電壓下可獲得1.8nm、10kV下可獲得1.2nm的分辨能力。
領(lǐng)航者以人為本,操作簡單。她不僅實現(xiàn)全自動樣品載入系統(tǒng),并有超高清全景光學(xué)導(dǎo)航。全球最快的SE加BSE成像速度,比傳統(tǒng)的產(chǎn)品快了10倍以上。7天24小時自動連續(xù)圖像采集,為創(chuàng)建大數(shù)據(jù)提供了可靠的的保障。
圖二.聚束科技產(chǎn)品高通量掃描電鏡領(lǐng)航者系統(tǒng)實物
高通量掃描電鏡擁有廣泛的應(yīng)用前景。電鏡檢測技術(shù)可應(yīng)用于材料科學(xué)、生命科學(xué)、失效分析、工藝制程研究等領(lǐng)域。例如超大體量生物3D重構(gòu)成像、高通量跨尺度材料表征、大規(guī)模樣品缺陷篩查、鍍膜工藝檢測、平板顯示檢測、納米顆粒自動篩查等。
2017年12月,聚束科技研制生產(chǎn)的首臺高通量場發(fā)射掃描電鏡系統(tǒng)——領(lǐng)航者(Navigator)系列產(chǎn)品正式下線,即成為用戶微觀尺度腦神經(jīng)連接圖譜的繪制工具,將高速掃描電鏡成像技術(shù)、序列自動采集技術(shù)和實時拼接配準技術(shù),整合為生物型高通量掃描電鏡三維影像系統(tǒng)。
由于高質(zhì)量電子光學(xué)系統(tǒng)研制生產(chǎn)困難,透鏡內(nèi)探測器設(shè)計難度大、低電壓分辨率難以突破,數(shù)十年來我國科研與工業(yè)部門所用的掃描電鏡嚴重依賴進口。每年我國花費超過1億美元采購的幾百臺掃描電鏡,主要產(chǎn)自美、日、德和捷克等國。國產(chǎn)高通量掃描電鏡的問世,對打破國外壟斷,破解卡脖子技術(shù)封鎖,起到重要作用。
聚束科技的年輕團隊本著“勵志突破全球技術(shù)瓶頸、打造中國民族電鏡品牌”的情懷,憑著在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中工業(yè)化高通量電鏡檢測技術(shù)多年的積累和傳承,下決心改變國內(nèi)高端掃描電鏡系統(tǒng)依靠進口的現(xiàn)狀。聚束科技有信心持續(xù)創(chuàng)新,夯實基礎(chǔ),奉獻先進的產(chǎn)品,為中國乃至全球提供一套全新的電鏡解決方案,助力科研和制造業(yè),提供不可或缺的工具。