隨著我國(guó)半導(dǎo)體、制芯業(yè)的發(fā)展，高純氣體管道的應(yīng)用也越來(lái)越廣泛，象半導(dǎo)體、電子、醫(yī)藥、食品等行業(yè)都不同程度的使用了高純氣體管道，因此高純氣體管道的施工對(duì)于我們來(lái)說(shuō)也越來(lái)越重要。
二、適用范圍
本工藝主要適用于電子、半導(dǎo)體廠房的氣體管道安裝、測(cè)試，焊接薄壁不銹鋼氣體管道，同時(shí)也適用于醫(yī)藥、食品等廠房的潔凈管道施工。
三、工藝原理
?根據(jù)工程特點(diǎn)，工程的施工前后分為三個(gè)步驟，每一步都要經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的質(zhì)量和潔凈度檢查，第一步是管道的預(yù)制，為保證潔凈要求，管道的預(yù)制一般是在1000級(jí)的預(yù)制間內(nèi)進(jìn)行；第二步是現(xiàn)場(chǎng)安裝；第三步是系統(tǒng)的測(cè)試，系統(tǒng)測(cè)試主要是對(duì)管道內(nèi)的塵埃粒子、露點(diǎn)、含氧量、碳?xì)浠衔锏暮窟M(jìn)行測(cè)試。
四、主要施工要點(diǎn)
（一）施工前的準(zhǔn)備
1、組織勞動(dòng)力，準(zhǔn)備施工中使用的機(jī)具、設(shè)備。
2、搭建預(yù)制間，潔凈度1000級(jí)。
3、施工圖分析，根據(jù)工程特點(diǎn)及實(shí)際情況編制施工方案，做好技術(shù)交底。
（二）管道預(yù)制
1、由于高純氣體管道要求的潔凈度較高，為了減少安裝現(xiàn)場(chǎng)的焊接工作量，確保潔凈度，所以管道的施工先在1000級(jí)的預(yù)制間中預(yù)制，施工人員應(yīng)穿潔凈服，使用的工機(jī)具應(yīng)保證潔凈，另外施工人員應(yīng)有較強(qiáng)的潔凈意識(shí)，施工過(guò)程盡量減少對(duì)管子的污染。
2、管道的下料管道下料使用的是專用的切管工具，切出的端面絕對(duì)和管軸心線垂直，切管時(shí)應(yīng)采取措施避免外界的灰塵、空氣對(duì)管子內(nèi)部的污染，下好的料應(yīng)分組編號(hào)以便于組對(duì)焊接。
3、管道焊接，管道焊接前應(yīng)先編制焊接程序輸入到自動(dòng)焊機(jī)，試焊樣品，樣品合格后，方能焊接，進(jìn)行完一天的焊接后，再焊樣品，如果樣品合格，由于焊接參數(shù)一直儲(chǔ)存在焊機(jī)里，自動(dòng)焊機(jī)焊接時(shí)又非常穩(wěn)定，所以焊縫質(zhì)量也是合格的。焊接質(zhì)量由微機(jī)控制，減少了由于人為因素對(duì)焊接質(zhì)量的影響，既提高了工作效率，又能得到高品質(zhì)的焊縫。
4、焊接工序
（三）現(xiàn)場(chǎng)安裝
1、高純氣體管道的現(xiàn)場(chǎng)安裝應(yīng)整潔干凈，安裝人員必須戴潔凈手套。
2、支架設(shè)置距離應(yīng)符合圖紙?jiān)O(shè)計(jì)要求，每一固定點(diǎn)套上EP管專用的橡膠套。
?3、預(yù)制好的管子運(yùn)到現(xiàn)場(chǎng)，不能磕碰踩踏，不能直接放到地面上，擔(dān)上支架后，立即上管卡。
4、現(xiàn)場(chǎng)的管道焊接和預(yù)制階段管道焊接程序相同。
5、焊接完畢經(jīng)有關(guān)人員對(duì)焊口樣品及管道上的焊口檢驗(yàn)合格后，貼焊口標(biāo)簽，填寫焊接記錄。
（四）系統(tǒng)測(cè)試
1、系統(tǒng)檢測(cè)是高純氣體施工的最后一環(huán)，它是在管道壓力試驗(yàn)、吹掃結(jié)束后進(jìn)行。
2、系統(tǒng)測(cè)試使用的氣體首先是合格氣體，氣體的潔凈度、含氧量、露點(diǎn)及碳?xì)浠衔飸?yīng)符合要求。
3、指標(biāo)的檢測(cè)是通過(guò)在管道里充入合格氣體，在出口處用儀器測(cè)量，管道里吹出的氣體合格了，說(shuō)明這條管路指標(biāo)合格了。
五、材料
高純氣體管道按其流通介質(zhì)的工藝要求一般采用薄壁不銹鋼管，通常采用316L（00Cr17Ni14Mo2）。主要有鉻、鎳、鉬三種合金元素，鉻的存在提高了不銹鋼在氧化性介質(zhì)中的耐腐蝕性，形成一層富鉻氧化膜；而鉬的存在則提高了不銹鋼在非氧化性介質(zhì)中的耐腐蝕性；鎳是奧氏體的形成元素，它們的存在既提高了鋼的耐腐蝕性，又提高了鋼的工藝性能。
六、機(jī)具設(shè)備
自動(dòng)焊機(jī) ARC M207A 2臺(tái)
切管機(jī) RA41 臺(tái)
端面加工機(jī) 2臺(tái)
電源穩(wěn)壓器 2臺(tái)
手工鎢極氬弧焊機(jī) 3臺(tái)
氬氣過(guò)濾器 3個(gè)
不銹鋼彎管器 1/4″、3/8″、1/2″、3/4″各1個(gè)
粒子測(cè)試儀 1臺(tái)
露點(diǎn)測(cè)試儀 1臺(tái)
碳?xì)浠衔餃y(cè)試儀 1臺(tái)
氬氣純度檢測(cè)儀 1臺(tái)
七、勞動(dòng)力組織
項(xiàng)目經(jīng)理 1名
管道工程師 1名
焊接工程師 1名
管道施工組長(zhǎng) 2名
焊 工 2名
管道施工組員 6名
八、施工質(zhì)量要求
1、工程施工執(zhí)行的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)
⑴ 潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范 JGJ71-90
⑵ 潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50073-2001
⑶ 工業(yè)金屬管道工程施工及驗(yàn)收規(guī)范 GB50235-97
⑷ 現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工及驗(yàn)收規(guī)范GB50236-98
2、為保證工程質(zhì)量，應(yīng)采取下列措施
⑴ 工程技術(shù)人員負(fù)責(zé)施工計(jì)劃、工程技術(shù)和潔凈措施的制訂，繪制預(yù)制加工圖，并負(fù)責(zé)組織、指導(dǎo)全面實(shí)施，對(duì)施工質(zhì)量負(fù)責(zé)。
⑵ 管工必須按規(guī)定的潔凈、技術(shù)措施按圖預(yù)制和安裝，負(fù)責(zé)專用設(shè)備的正確使用和保養(yǎng)，負(fù)責(zé)做好各項(xiàng)測(cè)試準(zhǔn)備工作和測(cè)試工作，負(fù)責(zé)管道的預(yù)制、安裝達(dá)到質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。
⑶質(zhì)量檢驗(yàn)人員，應(yīng)對(duì)管道預(yù)制、安裝作業(yè)進(jìn)行全面質(zhì)量檢查和控制，督促檢查各項(xiàng)潔凈措施的貫徹執(zhí)行；檢查確認(rèn)預(yù)制安裝質(zhì)量、檢查確認(rèn)焊接前后的焊口樣品；檢查確認(rèn)焊接記錄和各種檢測(cè)及其記錄的正確性；并負(fù)責(zé)匯總和整理交工資料。
?⑷ 發(fā)生質(zhì)量事故，不得隱瞞，及時(shí)上報(bào)，查找原因并及時(shí)解決。
九、安全措施
1、嚴(yán)格執(zhí)行《建筑安裝工人安全技術(shù)操作規(guī)程》及中電四公司的安全規(guī)章制度，組織工人學(xué)習(xí)，經(jīng)考核合格后方能上崗。
2、高空作業(yè)，腳手架在超出地面兩米（含兩米）以上時(shí)，人員須系安全帶，工具須放入工具袋內(nèi)，腳手架必須圍籬。
3、所有帶電設(shè)備、帶電工具必須有漏電保護(hù)措施，臨時(shí)電纜、電線的接線須由專職電工實(shí)施。
4、動(dòng)火作業(yè)應(yīng)辦理動(dòng)火作業(yè)許可證，動(dòng)火作業(yè)人員應(yīng)持證上崗，并備好防火用品。
5、安全人員隨時(shí)檢查班組施工人員的安全情況，發(fā)現(xiàn)安全隱患及時(shí)排除。
