江蘇省重點(diǎn)研發(fā)計劃面向國家重大戰(zhàn)略需要,聚焦集成電路、新材料、先進(jìn)制造等重點(diǎn)領(lǐng)域,集中力量開展關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)和重要標(biāo)準(zhǔn)研發(fā),加快推進(jìn)核心技術(shù)自主化。以提升高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新力、影響力為主線,加強(qiáng)關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān),推動第三代半導(dǎo)體、未來網(wǎng)絡(luò)通信等十大高新技術(shù)新興產(chǎn)業(yè)成為構(gòu)筑現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)體系的新支柱。
“氮化鎵微波毫米波無線能量轉(zhuǎn)換芯片關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)”由江南大學(xué)物聯(lián)網(wǎng)工程學(xué)院敖金平教授團(tuán)隊牽頭組織,聯(lián)合蘇州實驗室、蘇州納維科技有限公司、中國電子科技集團(tuán)公司第五十五研究所、無錫華潤安盛科技有限公司、南京大學(xué)、江蘇能華微電子科技發(fā)展有限公司共同參與,擬在氮化鎵基微波毫米波無線能量轉(zhuǎn)換芯片相關(guān)方面取得突破性進(jìn)展,并打通從實驗室到產(chǎn)業(yè)化的關(guān)鍵環(huán)節(jié),實現(xiàn)關(guān)鍵技術(shù)從“實驗室”走向“生產(chǎn)線”。
高性能的微波-直流轉(zhuǎn)換是實現(xiàn)中遠(yuǎn)距離無線能量傳輸?shù)年P(guān)鍵,然而,當(dāng)前基于硅的轉(zhuǎn)換芯片普遍存在效率低,功率容量不足等缺點(diǎn)。氮化鎵材料因其出色的電學(xué)特性被認(rèn)為是實現(xiàn)高性能微波-直流轉(zhuǎn)換芯片的最佳材料之一。“該項目就是要依托各單位特色優(yōu)勢,在自支撐氮化鎵材料襯底上研發(fā)出高性能、低成本的微波-直流轉(zhuǎn)換芯片。”敖金平說,“通過探索新型半導(dǎo)體工藝、先進(jìn)封測技術(shù)來提高芯片穩(wěn)定性、可靠性,我們有信心整體性能達(dá)到國際前沿水平。”
目前,江南大學(xué)建有寬帶隙/超寬禁帶半導(dǎo)體材料與器件實驗室,擁有千級材料生長和器件工藝超凈間,多臺器件制備用的光刻機(jī)、等離子體刻蝕機(jī)、磁控濺射臺、快速熱退火系統(tǒng)等工藝設(shè)備,具有完整的材料生長、器件制備及測試評價能力。敖金平教授團(tuán)隊有近二十年的 GaN 器件及電路研究經(jīng)歷,先后牽頭完成了國家重大專項、國家自然科學(xué)基金重大/重點(diǎn)項目等多項 GaN 基電子器件相關(guān)的國家重點(diǎn)科研項目;在行業(yè)知名期刊上發(fā)表相關(guān) SCI 論文 500 篇以上,申請發(fā)明專利 50 件以上。團(tuán)隊研發(fā)了多款氮化鎵微波整流芯片,其微波-直流轉(zhuǎn)換效率達(dá)到90%以上,業(yè)內(nèi)領(lǐng)先。